1
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ArF浸没式光刻胶用抗水涂层研究进展 |
郑祥飞
徐亮
陈侃
刘敬成
张家龙
陈韦帆
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《涂料工业》
CAS
CSCD
北大核心
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2024 |
0 |
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2
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面向浸没式光刻机的超精密光学干涉式光栅编码器位移测量技术综述 |
王磊杰
张鸣
朱煜
叶伟楠
杨富中
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《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2019 |
11
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3
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非球面技术在浸没式光刻照明系统中的应用 |
李美萱
王丽
董连和
赵迎
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《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
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2017 |
2
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4
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浸没式光刻机浸没流场的仿真与试验 |
傅新
赵金余
陈晖
陈文昱
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《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2011 |
1
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5
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浸没式光刻照明系统中非球面变焦系统设计 |
李美萱
王丽
董连和
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《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2018 |
1
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6
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193 nm ArF浸没式光刻技术PK EUV光刻技术 |
翁寿松
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《电子工业专用设备》
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2007 |
1
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7
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193nm浸没式光刻材料的研究进展 |
何鉴
高子奇
李冰
郑金红
穆启道
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《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
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2008 |
3
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8
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浸没式光刻投影物镜光学薄膜 |
毕丹丹
张立超
时光
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《中国光学》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2018 |
4
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9
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浸没式光刻照明系统的照明模式变换器 |
李美萱
董连和
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《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
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2018 |
1
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10
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离轴照明对ArF浸没式光刻的影响 |
黄国胜
李艳秋
张飞
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《微细加工技术》
EI
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2005 |
1
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11
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浸没式光刻照明系统中会聚镜的设计及公差分析 |
李美萱
董连和
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《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
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2019 |
1
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12
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浸没式光刻技术 |
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《微纳电子技术》
CAS
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2004 |
0 |
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浸没式光刻气泡夹带与流动动力问题研究 |
井科学
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《科技创新导报》
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2011 |
0 |
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14
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浸没式光刻向22nm挺进 |
马建军
张崇巍
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《电子工业专用设备》
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2009 |
0 |
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15
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ArF浸没式光刻在55nm逻辑器件制造中的优势(英文) |
Takayuki Uchiyama
Takao Tamura
Kazuyuki Yoshimochi
Paul Graupner
Hans Bakker
Eelco van Setten
Kenji Morisaki
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《电子工业专用设备》
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2007 |
0 |
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16
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浸没式光刻技术的研究进展 |
袁琼雁
王向朝
施伟杰
李小平
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《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
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2006 |
16
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17
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用于浸没式工艺的光刻胶研究进展 |
何鉴
盛瑞隆
穆启道
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《影像科学与光化学》
CAS
CSCD
北大核心
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2009 |
2
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18
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浸没式光刻机浸液系统污染控制研究现状及进展 |
付婧媛
苏芮
阮晓东
付新
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《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
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2022 |
1
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19
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浸没式ArF光刻系统中光学因素对L形图形的影响 |
张飞
李艳秋
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《微细加工技术》
EI
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2006 |
0 |
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20
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分辨力增强技术在65nm浸没式ArF光刻中的应用 |
李艳秋
黄国胜
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《电子工业专用设备》
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2004 |
3
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