光刻机浸没液体控制系统的研究现状及进展

浸没式光刻机是目前在45nm以下IC生产线上唯一获得应用的新光刻装备。浸没控制系统是浸没式光刻机的核心子系统之一,用于在最后一片投影物镜和硅片之间,提供并维持具有高度洁净度与稳定性的缝隙流场,利用高折射率浸没液体,提高光刻分辨率。介绍浸没控制系统的技术背景、组成及其特点,论述国外在液体浸没方式、液体动态密封、流场检测与控制、曝光热效应和气泡控制等关键技术方面的研究成果以及国内自主研发的进展。针对浸没式光刻机向着更高光刻分辨率和更高生产率不断延伸的特点,对浸没液体控制系统的发展前景进行展望,指出其发展中面临的挑战与有待解决的关键技术,浸没液体控制系统将在浸没式光刻机的发展过程中继续扮演着重要角色。

圆形液体浸没射流冲击驻点传热的数值模拟

对圆形液体浸没层流射流的流场结构和冲击驻点的单相传热进行了数值模拟．考虑的因素为喷嘴直径、喷嘴至冲击板距离、射流速度和加热面尺寸等．计算结果表明：冲击板上涡的位置随Ｒｅ的增加而远离对称轴．对于充分发展的管形喷嘴而言，驻点换热随射流出口Ｒｅ的增加和喷嘴直径的减小而增强；在５＜Ｚ／ｄ＜９内出现峰值，与加热面尺寸无关．

聚光光伏系统中浸没冷却液体的光学性能分析

通过分光光度计采用双光程测试方法获得合成油、醇类、硅油、矿物油4大类液体中10种候选液的光谱透过率。与传统光伏封装材料相比,候选浸没冷却液体的光谱透过率略显优势。基于液浸聚光电池的归一化光电流密度分析得出10种候选液均可用于浸没冷却聚光硅电池,二甲基硅油引起的功率损失最小;除丙三醇外其余9种候选液均可用于浸没冷却聚光三结电池,Therminol VP-1引起的功率损失最小,其次为二甲基硅油。

圆形液体浸没射流冲击核沸腾传热的实验研究

以R113为工质,通过实验系统研究了圆形浸没射流冲击下射流出口速度、喷嘴直径、喷嘴至冲击板距离、液体流动方向及过冷度等对核沸腾传热曲线及临界热流密度的影响.结果表明:同一过冷度下的池核沸腾和冲击核沸腾曲线可以用统一的关联式来表达;提出的过渡沸腾传热表达式可以很好的用来关联实验数据;而临界热流密度随着速度增加及离驻点距离的减小而提高.

老化试验对浸没冷却聚光电池液体性能的影响

测试分析适用于浸没冷却Ⅲ-Ⅴ族聚光三结电池的候选液体分别经受紫外、湿热和高低温老化试验的光谱透过率。老化试验后液体平均透过率的分析表明二甲基硅油下降最小,分别为-0.42%、-0.26%、-0.22%。通过引入的归一化光电流密度定量分析老化试验后液体透过率变化对电池电性能的影响,计算结果表明试验后二甲基硅油对应的Jnp相对变化率最小,分别为-0.18%、-0.03%、-0.09%,其余5种矿物油的可靠性也满足要求。液体红外光谱分析表明紫外光、湿气、高温等环境因素可促使液体分子发生碳链断裂,而断裂处碳原子与O2结合形成酮羰基是导致液体性能下降的主要原因。

圆形液体浸没射流冲击沸腾起始点的实验研究

本文严格按照实验程序，首次系统地研究了沸腾起始点受圆形浸没射流冲击速度大小、液体流动方向、液体过冷度和喷嘴直径等因素的影响，将沸腾终止点与理论值进行了比较。结果表明：起沸点随液体过冷度增加而降低，与其它因素无关。并从强润湿性液体沸腾机理的角度对起沸点的影响因素给出了相应的解释。

浸没冷却液体对聚光三结电池电性能的影响

为把直接液浸冷却方式应用于采用密排III-V族电池组件的高倍聚光光伏系统,分析了适用于浸没冷却高倍聚光下III-V族聚光三结电池候选液体的种类、液膜厚度对Ga In P/Ga In As/Ge聚光三结电池电性能的影响,探索了该电池在液浸条件下电性能变化的机理.结果表明:不同液体液膜厚度对聚光三结电池短路电流的影响远大于对其开路电压的影响;随着浸没液体厚度的不断增加,聚光三结电池的效率呈现先升高后降低的趋势,在4.0 mm液厚时效率达到最大,其中化妆级白油在此厚度浸没下电池效率可提升8.99%.机理分析表明:薄液膜的存在降低了聚光三结电池表面的菲涅尔反射的光学效应和液体分子的吸附降低了电池表面复合速率的电学效应是引起电池效率提升的主要原因.

适用于相变浸没式液冷服务器系统的电子氟化液的材料兼容性研究

相变浸没式液体冷却技术由于冷却液与服务器系统直接接触,冷却液对系统的材料兼容性的好坏是决定液冷服务器系统的可实施性、维护成本和使用年限最重要的因素之一。本文选取一种全氟碳类电子氟化液(yl-10)作为相变浸没式液冷服务器系统的冷却液,通过加速老化的方法(在80℃恒温下),对服务器与3种纯度的氟化液(yl-10)的材料兼容性进行试验研究,并以试验前后氟化液色谱组分质量占比和试验样品质量、密度的相对变化量为指标对其材料兼容性进行评估。试验结果表明:不同纯度的yl-10与贴片电感器、非固体插装铝电容、PVC线缆和PET固体颗粒之间均表现出良好的材料兼容性;片式薄膜电阻器、低压低容陶瓷电容与纯度较高的yl-10材料兼容性良好,但与纯度较低yl-10材料兼容性较差,应优选较高纯度的yl-10作为浸没式液冷服务器的冷却液。简而言之,具有较高纯度的电子氟化液yl-10与以上器件材料表现出较为理想的材料兼容性。

193nm浸没式光刻材料的研究进展

介绍了193 nm浸没式光刻技术的兴起和面临的挑战。在所涉及的材料方面,对第一代、第二代及第三代的浸没液体进行了介绍,对顶部涂料的类型及其应用进行了归纳概述。并对顶部涂料存在的问题进行了阐述。对光刻胶材料中涉及的产酸剂、主体树脂及光刻胶应用方面进行了综述,并重点描述了无须顶部涂层的光刻胶,最后对193 nm浸没式光刻材料发展趋势作了展望。

间歇浸没液培技术在香蕉繁育中的应用探究

香蕉种苗繁育的组培方法主要是传统固体培养基培养,其劳动量大,增殖系数不高,自动化与机械化程度低,生产效益提升空间有限。本文利用气压式间歇浸没液体培养、固体静置培养、液体静置培养3种不同的培养方式组培研究香蕉种苗,探究在增殖率方面具有积极作用的香蕉组培技术。实验结果:(1)液体间歇浸没培养的香蕉无菌苗增殖率为3.55,是传统固体培养的1.12倍,是液体培养的1.73倍;(2)在液体间歇浸没培养香蕉无菌苗试验中,培养效果最好的间歇浸没频率为10 min/2 h;(3)液体间歇性浸没组培的苗长势好,生根较少,叶茎粗壮,分蘖多,优于传统组培方式。

液浸对聚光硅太阳电池电性能的影响

利用恒压闪光式电池测试仪测试分析不同厚度的去离子水、异丙醇和二甲基硅油对聚光硅太阳电池在10—30倍聚光比下电性能的影响。研究发现，薄液膜浸没时电池的转换效率最大可提高15．2％，这是因为薄液膜一方面可减少电池表面的反射光，另一方面液体分子的吸附可降低电池表面复合速率；随液膜厚度的增加，液膜对光的吸收增强，电池转换效率的提高幅度开始降低；液浸电池在较高聚光比下电性能有更大提高。

浸没式光刻技术的研究进展

浸没式光刻技术是将某种液体充满投影物镜最后一个透镜的下表面与硅片之间来增加系统的数值孔径,可以将193nm光刻延伸到45nm节点以下。阐述了浸没式光刻技术的原理,讨论了液体浸没带来的问题,最后介绍了浸没式光刻机的研发进展。