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等离子体浸没离子植入的新近应用
1
作者
王惠三
《等离子体应用技术快报》
1997年第4期1-4,共4页
关键词
等
离子
体
植入
浸没离子植入
微电子器件
PIII
下载PDF
职称材料
等离子体浸没位形中的动态混合沉积／植入
2
作者
蒋永鹂
《等离子体应用技术快报》
2000年第9期12-13,共2页
关键词
等
离子
体
浸没离子植入
动态混合
薄膜
不锈钢
下载PDF
职称材料
与RF溅射沉积或三极管DC溅射沉积相结合的原位或顺序PIII处理装置
3
作者
李丁
《等离子体应用技术快报》
2000年第8期11-12,共2页
关键词
半导体
等离了体
浸没离子植入
溅射沉积
RF
DC
下载PDF
职称材料
钢的金属PIII表面改性
4
作者
蓉佳
《等离子体应用技术快报》
2000年第10期6-7,共2页
关键词
钢
金属表面
改性
等
离子
体
浸没离子植入
下载PDF
职称材料
用于PIII的高电压脉冲发生器
5
作者
卫冰
《等离子体应用技术快报》
2000年第1期12-13,共2页
关键词
等
离子
体
浸没离子植入
高电压
脉冲发生器
全文增补中
题名
等离子体浸没离子植入的新近应用
1
作者
王惠三
出处
《等离子体应用技术快报》
1997年第4期1-4,共4页
关键词
等
离子
体
植入
浸没离子植入
微电子器件
PIII
分类号
TG174.442 [金属学及工艺—金属表面处理]
下载PDF
职称材料
题名
等离子体浸没位形中的动态混合沉积／植入
2
作者
蒋永鹂
出处
《等离子体应用技术快报》
2000年第9期12-13,共2页
关键词
等
离子
体
浸没离子植入
动态混合
薄膜
不锈钢
分类号
TG174.442 [金属学及工艺—金属表面处理]
下载PDF
职称材料
题名
与RF溅射沉积或三极管DC溅射沉积相结合的原位或顺序PIII处理装置
3
作者
李丁
出处
《等离子体应用技术快报》
2000年第8期11-12,共2页
关键词
半导体
等离了体
浸没离子植入
溅射沉积
RF
DC
分类号
TN304.055 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
钢的金属PIII表面改性
4
作者
蓉佳
出处
《等离子体应用技术快报》
2000年第10期6-7,共2页
关键词
钢
金属表面
改性
等
离子
体
浸没离子植入
分类号
TG178 [金属学及工艺—金属表面处理]
TG174.44 [金属学及工艺—金属表面处理]
下载PDF
职称材料
题名
用于PIII的高电压脉冲发生器
5
作者
卫冰
出处
《等离子体应用技术快报》
2000年第1期12-13,共2页
关键词
等
离子
体
浸没离子植入
高电压
脉冲发生器
分类号
TL629.1 [核科学技术—核技术及应用]
全文增补中
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
等离子体浸没离子植入的新近应用
王惠三
《等离子体应用技术快报》
1997
0
下载PDF
职称材料
2
等离子体浸没位形中的动态混合沉积／植入
蒋永鹂
《等离子体应用技术快报》
2000
0
下载PDF
职称材料
3
与RF溅射沉积或三极管DC溅射沉积相结合的原位或顺序PIII处理装置
李丁
《等离子体应用技术快报》
2000
0
下载PDF
职称材料
4
钢的金属PIII表面改性
蓉佳
《等离子体应用技术快报》
2000
0
下载PDF
职称材料
5
用于PIII的高电压脉冲发生器
卫冰
《等离子体应用技术快报》
2000
0
全文增补中
已选择
0
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参考文献
引证文献
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