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制备工艺对SnO_2:Sb透明导电膜性能的影响 被引量:2
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作者 朱小平 于长凤 +2 位作者 凌青 张脉官 戴静 《中国陶瓷工业》 CAS 2006年第5期1-5,共5页
将SnCl2.2H2O和SbCl3分别溶解于乙醇中,搅拌至完全溶解,以不同的Sb/Sb混合制备得到溶胶后,分别采用浸渍提拉、喷涂、旋涂工艺制备透明导电膜,并考察了不同制备工艺及热处理温度对膜的厚度、薄膜方块电阻以及对薄膜透光率的影响,运用XRD... 将SnCl2.2H2O和SbCl3分别溶解于乙醇中,搅拌至完全溶解,以不同的Sb/Sb混合制备得到溶胶后,分别采用浸渍提拉、喷涂、旋涂工艺制备透明导电膜,并考察了不同制备工艺及热处理温度对膜的厚度、薄膜方块电阻以及对薄膜透光率的影响,运用XRD、SEM、TEM对所制备的透明导电膜进行了分析表征。 展开更多
关键词 SNO2薄膜 Sb掺杂 透明导电膜 浸渍捉拉 喷涂 旋涂
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