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高压绝缘α-Al_2O_3涂层的XPS和EELS表面分析 被引量:1
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作者 郑家贵 蒋立新 +2 位作者 蔡亚平 罗四维 周心明 《四川大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期201-204,共4页
用不同配方的Mn,Cr,Ti混合物涂复α-Al2O3绝缘瓷表面,在适当的条件下热处理,利用XPS和EELS测试分析了表面层的电子能态.发现在退火后各涂层成分的含量变化明显,由于配方元素不同程度地扩散、渗透进95Al2O3陶瓷基底内,通过反应生成... 用不同配方的Mn,Cr,Ti混合物涂复α-Al2O3绝缘瓷表面,在适当的条件下热处理,利用XPS和EELS测试分析了表面层的电子能态.发现在退火后各涂层成分的含量变化明显,由于配方元素不同程度地扩散、渗透进95Al2O3陶瓷基底内,通过反应生成了新相;根据价带谱和EELS分析,其表面层的价带顶移向真空能级,使能隙减小;能隙中的缺陷态、杂质态及表面态增加,有利于内次级电子的非弹性跃迁和二次电子发射系数的减小. 展开更多
关键词 氧化铝绝缘瓷 涂复热处理方法 XPS EELS 表面层 电子能态 二次电子发射系数 高压绝缘涂层
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