空心热阴极离子镀氮化钛涂层技术的研究

本文主要研究钛蒸发速率的影响因素和氮分压对涂层的影响。增加坩埚处聚焦线 圈电流，蒸发速率明显提高，缩小坩埚尺寸及其传热面积也能提高蒸发速率。氮分压 是决定涂层相结构和相组成的主要因素，并影响涂层中相的相对数量，从而影响涂层 硬度和颜色。