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TEL Mark-8轨道T&H-NRC-1-A型温湿度空气调节器原理介绍及故障分析
1
作者 郭晶磊 周林 《电子与封装》 2004年第1期61-64,共4页
本文介绍了在半导体设备TEL Mark-8中T&H-NRC-I-A型温湿度空气调节器的基本原理及一般故障分析。
关键词 半导体行业 TEL Mark-8轨道 涂布匀胶工艺 温湿度空气调节器 工作原理 冷冻机 蒸发 压缩 凝聚 膨胀
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