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TP77椭圆偏振光测厚仪功能的拓展研究 被引量：1
1
作者 陈涛 邱亚琴 +1 位作者 李楚容 朱兰 《华中科技大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期43-44,共2页
成功地将TP77椭圆偏振光测厚仪改装成以卤钨灯或氙灯为光源的广谱椭偏仪 .改装后的椭偏仪不含λ/4波长片 ,而配有一型号为WDG5 0 0 1A的单色仪和一个X Y函数记录仪 ,它可用来测量固体薄膜和片状材料的折射指数n(λ)和消光指数k(λ) .
关键词 TP77椭圆偏振光测厚仪 椭圆光度法 折射指数 消光指数 光学测量 广谱椭偏仪
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