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扫描电镜中象散的消除
被引量:
1
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作者
张良平
付建华
《分析测试仪器通讯》
1994年第2期42-44,48,共4页
文章强调象散是影响图象清晰度的重要因素,消除象散是扫描电镜(SEM)工作中重要而较难掌握的一环;介绍了象散的产生、消象散器的工作原理及象散消除过程。
关键词
扫描电镜
象散
消象散器
显微镜
下载PDF
职称材料
题名
扫描电镜中象散的消除
被引量:
1
1
作者
张良平
付建华
机构
湖南师大实验中心
出处
《分析测试仪器通讯》
1994年第2期42-44,48,共4页
文摘
文章强调象散是影响图象清晰度的重要因素,消除象散是扫描电镜(SEM)工作中重要而较难掌握的一环;介绍了象散的产生、消象散器的工作原理及象散消除过程。
关键词
扫描电镜
象散
消象散器
显微镜
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
扫描电镜中象散的消除
张良平
付建华
《分析测试仪器通讯》
1994
1
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