蒙特卡罗粒子输运模拟在离子注入研发中的应用

离子注入材料的微观过程和现象,如射程分布、能量损失、溅射和次级射线产生,通过实验手段通常难以直接观察,采用蒙特卡罗粒子输运计算方法,可以较为直观地对相关过程进行计算和展示。使用蒙特卡罗粒子输运程序SRIM和FLUKA计算分析离子注入过程中涉及到的射程分布、能量损失、溅射率、X射线分布等参数,证明蒙特卡罗方法可以有效地用于离子注入相关的设备和工艺设计。