电力设备中液位高精度变送技术的研究

本文提出在弹性元件表面用微波ECR溅射TiN薄膜实现电力设备的液位高精度变送的技术。由于TiN薄膜优异的机械特性 ,加之对敏感元件进行了二元线性插值法进行智能补偿 ,实现了液位测量的快响应和高精度。