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基于微机电系统技术的微电化学地震传感器
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作者 Deyong Chen Guangbei Li +10 位作者 Junbo Wang Jian Chen Wentao He Yunjie Fan Tao Deng Peng Wang 孙宏志 安容蒂 卢山 赵龙梅 王晓美 《世界地震译丛》 2015年第4期342-349,共8页
介绍了一种新型电化学地震传感器,利用密闭液体(例如,电解质溶液)作为敏感要素,将外界震动引起的活性离子在电极间的不平衡转换成电流输出。通过理论分析和数值仿真,验证此理论方法来研发采用传统微机电系统(MEMS)技术研制的微地震传感... 介绍了一种新型电化学地震传感器,利用密闭液体(例如,电解质溶液)作为敏感要素,将外界震动引起的活性离子在电极间的不平衡转换成电流输出。通过理论分析和数值仿真,验证此理论方法来研发采用传统微机电系统(MEMS)技术研制的微地震传感器的可行性。基于震动试验台测试得到的实际速度与输出电压幅度的线性关系,研制设备的灵敏度特性为274V/m·s^(-1)(20~80Hz)。研制设备与类似商用产品(MET2003)进行了性能对比测试,实验结果表明,与MET2003相比,研制的设备在对随机震动的响应方面具有更低的功率谱。总之,本文提出的电化学地震传感器可以利用微机电系统技术进行批量生产,与传统电化学地震仪相比具有更出色的性能和更低的功率谱。此新型微传感器可应用于地震监测,提升地震定位、火山喷发和其他地表活动的监测能力。 展开更多
关键词 微机电系统 地震传感器 电化学方法 液体质量检测 平面电极
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