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题名液晶玻璃面板光学检测仪器气浮平台系统参数优化设计
被引量:1
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作者
周杨
李程伟
徐筱波
张勇
黄斌
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机构
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
京东方科技集团股份有限公司
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出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2019年第6期994-999,共6页
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基金
国家重大科学仪器设备开发专项(2013YQ220749)
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文摘
液晶玻璃平板在线检测流程当中,气膜的流场压力和速度的分布需要较高的稳定性,为了比较不同的气浮平台供气方式对气膜稳定性的影响,结合气体润滑理论,分析得出气膜稳定后的压力分布情况。通孔在气浮板上通常采用阵列排布,使用Gambit对气浮平台三维模型进行网格的划分,再将其导入软件Fluent中,对正压供气方式和正负压供气方式进行仿真计算,分析得到2种不同供气模式下气浮力的分布以及速度分布。由以上分析可得,若气浮系统中其余变量保持不变,正负压同时供气方式优势更加明显,气膜稳定后气浮力和速度分布平缓,所需气体的质量流量较正压供气方式更少。以正负压同时供气方式自制玻璃基板光学缺陷检测样机,实验结果表明气膜间隙变化量小于1μm。
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关键词
计量学
液晶玻璃面板
气浮支承
供气方式
Fluent仿真
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Keywords
metrology
liquid crystal glass panel
air bearing support
gas supply mode
Fluent simulation
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分类号
TB96
[机械工程—光学工程]
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题名修复液晶玻璃表面划伤的研磨机结构
被引量:2
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作者
李江
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机构
中电科风华信息装备股份有限公司
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出处
《机械管理开发》
2020年第7期55-56,78,共3页
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文摘
介绍了一种用来修复液晶玻璃表面划伤的研磨结构,该结构使用高速旋转的研磨头,并利用摩擦力在划伤的液晶玻璃表面研磨,以达到消除表面划痕的效果,同时,分析了机器中关键部件的设计原理,说明了关键部件的相关计算。具有该结构的研磨机精度高、稳定性高,可以满足实际生产的工艺需求,是液晶面板生产企业实现降本增效的重要设备。
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关键词
液晶玻璃面板
划伤修复
结构
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Keywords
LCD glass panel
scratch repair
structure
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分类号
TQ171.73
[化学工程—玻璃工业]
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