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液相外延系统中高指标热场的实现
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作者 袁章其 罗卫国 蒲勇 《微细加工技术》 2000年第3期70-74,共5页
高精度、高稳定性、高降温速率的热场 ,是液相外延设备研制中的关键技术之一。介绍了热场的结构设计、炉温的控制及调试结果。
关键词 热场 液相外延系统
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碲镉汞的液相外延生长 被引量:5
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作者 黄仕华 何景福 +1 位作者 陈建才 雷春红 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期613-617,共5页
设计了一种使用良好的石墨舟 ,建立了一套能进行开管液相外延的系统 ,并利用此系统在 Cd Zn Te衬底上和在富 Te的生长条件下生长了不同 x值的 Hg Cd Te外延薄膜 .通过对外延生长工艺的控制 ,外延薄膜的表面形貌有很大的改善 ,残留母液... 设计了一种使用良好的石墨舟 ,建立了一套能进行开管液相外延的系统 ,并利用此系统在 Cd Zn Te衬底上和在富 Te的生长条件下生长了不同 x值的 Hg Cd Te外延薄膜 .通过对外延生长工艺的控制 ,外延薄膜的表面形貌有很大的改善 ,残留母液大为减少 ,外延薄膜的组分比较均匀 ,其电学性能得到较大改善 ,Hg Cd Te外延薄膜与Cd Zn Te衬底之间的互扩散非常少 ,外延膜的晶体结构也较完整 . 展开更多
关键词 碲镉汞 液相外延生长 开管液相外延系统 半导体材料
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Novel Bi-substituted Yttrium Iron Garnet Film/Crystal Composite for Magneto-optical Applications
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作者 HUANOMin XUZhi-cheng ZHOUWei-zhen 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 2004年第3期213-218,共6页
The novel Bi-substituted rare-earth iron garnet films were grown by the modified liquid phase epitaxy (LPE) technique for use as a 45° Faraday rotator in optical isolators.First,single crystals of Y3Fe5O12 (YI... The novel Bi-substituted rare-earth iron garnet films were grown by the modified liquid phase epitaxy (LPE) technique for use as a 45° Faraday rotator in optical isolators.First,single crystals of Y3Fe5O12 (YIG),with a lattice constant of 1.237 8 nm,were grown by means of the Czochralski method.Using the seed crystal of YIG instead of the conventional non-magnetic garnet of Gd3Ga5O12 (GGG) as a substrate,a film of BiYbIG was grown by means of the LPE method from Bi2O3-B2O3 fluxes.The structural,magnetic and magneto-optical properties of BiYbIG LPE film/YIG crystal composite have been investigated using directional X-ray diffraction (XRD),electron probe microanalysis (EPMA),vibrating sample magnetometer (VMS) and near-infrared transmission spectrometry.The saturation magnetization 4πMs has been estimated to be about 1.2×106 A/m.The Faraday rotation spectrum was measured by the method of rotating analyzer ellipsometry (RAE) with the wavelength varied from 800 nm to 1 700 nm.The resultant Bi0.37Yb2.63Fe5O12 LPE film/YIG crystal composite showed an increased Faraday rotation coefficient due to doping Bi3+ ions into the dodecahedral sites of the magnetic garnet without increasing absorption loss,therefore a good magneto-optic figure of merit,defined by the ratio of Faraday rotation and optical absorption loss,has been achieved of 21.5 and 30.2 (°)/dB at 1 300 and 1 550 nm wavelengths respectively and room temperature. Since Yb3+ and Y3+ ions provide the opposite contribution to the wideband and temperature characteristics of Faraday rotation,the values of Faraday rotation wavelength and temperature coefficients were reduced to 0.06 %/nm and 0.007 (°)/℃ at 1 550 nm wavelength, respectively. 展开更多
关键词 Optical materials Liquid phase epitaxy Magneto-optical properties
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跨世纪优秀人才 清华大学罗毅教授
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《北京高等教育》 1996年第3期45-45,共1页
1992年4月,在日本学习和工作了近八年的罗毅和他刚刚完成博士论文答辩的妻子一起回到了祖国。罗毅1983年以优秀的成绩毕业于清华大学无线电系(电子系前身)。1984年,公派赴日本留学。就读于东京大学。1987年。
关键词 跨世纪优秀人才 半导体激光器 清华大学 研究成果 条形激光器 工艺技术 实验室建设 液相外延系统 反馈式 工作波长
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