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铜掺杂碳膜的蒙特卡罗模拟及其电学特性的计算(英文)
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作者 郭启航 张进宇 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2013年第5期420-424,共5页
采用蒙特卡罗的方法模拟了铜掺杂碳膜的淀积过程。首先建立空间网格结构,通过在网格结构上随机降落原子来模拟薄膜的淀积过程。薄膜的电学特性通过解泊松方程来计算。仿真结果表明,薄膜表面的粗糙程度随着碳含量的上升而下降;含碳量... 采用蒙特卡罗的方法模拟了铜掺杂碳膜的淀积过程。首先建立空间网格结构,通过在网格结构上随机降落原子来模拟薄膜的淀积过程。薄膜的电学特性通过解泊松方程来计算。仿真结果表明,薄膜表面的粗糙程度随着碳含量的上升而下降;含碳量为20%~25%的薄膜电阻很低而含碳量在60%~75%的薄膜电阻则很高。仿真结果与现有实验结果高度吻合,保证了仿真的正确性。 展开更多
关键词 铜掺杂碳膜 淀积过程 电学特性 蒙特卡罗模拟
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BF的光学薄膜 被引量:2
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作者 赵福庭 胡泉兴 李建华 《光学仪器》 2001年第5期27-35,共9页
叙述了近年在北京电影机械研究所 ( BF)研发的光学薄膜元器件 ,讨论了其中的技术要点。
关键词 光学薄膜 滤光片 淀积过程
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Cold Light Mirror Fabricated by Electr on Beam Evaporation of TiO_2 and SiO_2
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作者 ZHONGDi-sheng XUGuang-zhong 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 2000年第1期59-64,共6页
A process suitable for production on a large scale of cold light mirror for film projector is introduced. Deposition parameters required for producing TiO 2/SiO 2 optical multilayer systems by electron beam evaporatio... A process suitable for production on a large scale of cold light mirror for film projector is introduced. Deposition parameters required for producing TiO 2/SiO 2 optical multilayer systems by electron beam evaporation of TiO 2 and SiO 2 starting materials are investigated. Manufacture and techniques of cold mirror and the adhesion,stability, wear and corrosion resistance of cold mirror by this process are discussed. The result shows that cold mirror produced has good optical properties and better adhesion. 展开更多
关键词 冷光镜 淀积过程 电子束消散 光学涂层 TiO2 SIO2
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栗钙土系列
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《地球》 2014年第4期11-11,共1页
包括栗钙土、棕钙土和灰钙土.是中国北方分布范围极广的一些草原土壤。这类土壤均具有较明显的腐殖质累积和石灰的淋溶一淀积过程.并多存在弱度的石膏化和盐化过程。
关键词 栗钙土 土系 草原土壤 分布范围 中国北方 淀积过程 灰钙土
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光学薄膜的石英晶体振荡监控
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作者 林涛 袁长胜 成树喜 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第3期183-184,共2页
本文论述了光学薄膜淀积过程的石英晶体振荡监控的结构,原理及控制系统,分析了该监控方法的测量精度,有效范围及其影响精度的主要因素。
关键词 光学薄膜 淀积过程 测量精度 晶体振荡 监控方法 控制系统 石英 有效范围 系统误差 多层膜
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