9月23日,科技部高新技术发展及产业化司会同大唐电信科技股份有限公司在北京举办了国家“十五”“863”计划12个重大科技专项之——超大规模集成电路设计专项重点课题“面向通信的综合信息处理SoC(系统芯片:System on Chip,简称:SoC...9月23日,科技部高新技术发展及产业化司会同大唐电信科技股份有限公司在北京举办了国家“十五”“863”计划12个重大科技专项之——超大规模集成电路设计专项重点课题“面向通信的综合信息处理SoC(系统芯片:System on Chip,简称:SoC)平台”(简称“COMIPTM”)的技术成果与产品发布会。展开更多
氮化钛作为一种常见的阻挡层和粘合层材料在集成电路中广泛应用。在0.18微米及以下的逻辑集成电路电路制造中,MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)技术沉积氮化汰用做钨填充的粘合层和阻挡层是不可或缺的。随着超大规...氮化钛作为一种常见的阻挡层和粘合层材料在集成电路中广泛应用。在0.18微米及以下的逻辑集成电路电路制造中,MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)技术沉积氮化汰用做钨填充的粘合层和阻挡层是不可或缺的。随着超大规模集成电路向65纳米或者更高端发展以及铜制程在高端逻辑芯片制造的普及,钨填充技术在金属连线上的应用逐渐淡出,但是在逻辑电路硅化物接触层的应用上,MOCVD沉积氮化钛加上钨填充仍然是不可替代的技术。展开更多
文摘9月23日,科技部高新技术发展及产业化司会同大唐电信科技股份有限公司在北京举办了国家“十五”“863”计划12个重大科技专项之——超大规模集成电路设计专项重点课题“面向通信的综合信息处理SoC(系统芯片:System on Chip,简称:SoC)平台”(简称“COMIPTM”)的技术成果与产品发布会。
文摘氮化钛作为一种常见的阻挡层和粘合层材料在集成电路中广泛应用。在0.18微米及以下的逻辑集成电路电路制造中,MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)技术沉积氮化汰用做钨填充的粘合层和阻挡层是不可或缺的。随着超大规模集成电路向65纳米或者更高端发展以及铜制程在高端逻辑芯片制造的普及,钨填充技术在金属连线上的应用逐渐淡出,但是在逻辑电路硅化物接触层的应用上,MOCVD沉积氮化钛加上钨填充仍然是不可替代的技术。