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SU-8紫外深度光刻的误差及修正(英文)
被引量:
4
1
作者
郑津津
陈有梅
+4 位作者
周洪军
田杨超
刘刚
李晓光
沈连婠
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第12期1926-1931,共6页
在深紫外LIGA加工中,制作高精度大高宽比的微器件是很困难的。难点在于SU-8光刻胶对紫外光的吸收系数随着波长变短而很快变大,而且其穿透深度也相应迅速变小;同时由于紫外光的衍射效应,获得高精度的大高宽比结构并不容易。本文深入研究...
在深紫外LIGA加工中,制作高精度大高宽比的微器件是很困难的。难点在于SU-8光刻胶对紫外光的吸收系数随着波长变短而很快变大,而且其穿透深度也相应迅速变小;同时由于紫外光的衍射效应,获得高精度的大高宽比结构并不容易。本文深入研究了影响紫外深度光刻图形转移精度的如下因素:衍射效应、曝光剂量、紫外光波长和蝇眼透镜的分布等等。建立了基于模型区域的校正系统,该校正系统采用了分类分区域的思想将掩模图形按其畸变的特点进行了分类,在校正过程中对不同的类别分别建立校正区域,在每一校正区域内进行校正优化处理和校正评价,这种基于模型的分类分区域评价思想,使得校正过程有效且实时,该校正方法不仅降低了校正的复杂性,同时提高了校正的效率。
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关键词
SU-8
光刻
胶
紫外
深度光刻
掩模
图形转移
误差修正
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职称材料
深紫外深度光刻蚀在LIGA工艺中的应用
被引量:
2
2
作者
余国彬
姚汉民
+1 位作者
胡松
陈兴俊
《微纳电子技术》
CAS
2002年第4期30-32,共3页
随着MEMS在各个领域的运用,人们也开始探讨低成本、操作方便的LIGA工艺。本文重点介绍了一种用于深紫外光深度光刻实验装置的设计,并将该实验装置成功地应用于LIGA工艺的深度光刻中,光刻实验结果表明深紫外光深度光刻具有很大的实用意义。
关键词
深紫外
深度光刻
蚀
LIGA工艺
微型机电系统
微细加工
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职称材料
UV-LIGA深度光刻机平滑衍射技术研究
被引量:
6
3
作者
余国彬
姚汉民
胡松
《微细加工技术》
2002年第3期40-43,共4页
UV -LIGA深度光刻技术是加工微型机电系统的一项重要的微细加工技术。介绍了一种平滑衍射效应的位错强度叠加原理 ,它采用了蝇眼积分透镜去平滑衍射 ,并模拟数值计算了硅片表面的光强分布 。
关键词
深度光刻
机
UV-LIGA技术
平滑衍射
蝇眼积分透镜
错位强度叠加
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职称材料
用于MEMS加工的双面深度光刻机对准系统设计
被引量:
2
4
作者
马平
唐小萍
杨春利
《电子工业专用设备》
2003年第2期36-39,55,共5页
比较了光刻机中几种常用的对准方式,并分析了其优缺点,在此基础上对双面深度光刻机底面对准系统的设计原理、结构及对准过程做了详细阐述,并进行了对准系统的精度分析,最后介绍了为系统实现所采取的其他技术措施。实践证明,该对准系统...
比较了光刻机中几种常用的对准方式,并分析了其优缺点,在此基础上对双面深度光刻机底面对准系统的设计原理、结构及对准过程做了详细阐述,并进行了对准系统的精度分析,最后介绍了为系统实现所采取的其他技术措施。实践证明,该对准系统应用于深紫外双面深度光刻机中,系统运行稳定、可靠,完全能满足系统的精度要求。
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关键词
对准精度
掩模
微电子机械系统
MEMS
双面
深度光刻
机
对准系统
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职称材料
一种微细EDM电极的制造方法
被引量:
3
5
作者
彭良强
伊福廷
+2 位作者
张菊芳
韩勇
张院春
《电加工与模具》
2000年第6期43-45,共3页
针对微细EDM异形电极的加工难题 ,提出了利用同步辐射深度光刻和电铸技术相结合制造EDM电极的方法 ,可望较好地解决异形电极的制造问题。
关键词
同步辐射
深度光刻
电铸
EDM电极
制造方法
电火花加工
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职称材料
LIGA技术进展
被引量:
1
6
作者
陈迪
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第S1期57-58,共2页
LIGA技术进展陈迪(上海交通大学信息存储研究中心)LIGA是德文Lithograpie,Galvanoformung和Abformung三个词的缩写,是由X光深度光刻、微电铸和微塑铸三个工艺组成的制造三维微器件的先...
LIGA技术进展陈迪(上海交通大学信息存储研究中心)LIGA是德文Lithograpie,Galvanoformung和Abformung三个词的缩写,是由X光深度光刻、微电铸和微塑铸三个工艺组成的制造三维微器件的先进制造技术。80年代初由德国卡尔斯...
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关键词
LIGA技术
三维微器件
微电铸
同步辐射光源
微米纳米科学
技术进展
光刻
胶
掩模板
微加速度传感器
深度光刻
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职称材料
LIGA实验站的设计及应用
7
作者
田扬超
刘刚
+3 位作者
洪义麟
郭育华
熊瑛
阚娅
《中国科学技术大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第4期387-391,共5页
介绍了国家同步辐射实验室二期建设的LIGA实验站,研究了同步辐射光发散角对深度同步辐射光刻精度的影响;对深度同步辐射光刻扫描台的精度提出了理论要求;报道了深度同步辐射光刻、电铸和塑铸的实验结果.
关键词
同步辐射
LIGA
深度光刻
下载PDF
职称材料
微细加工技术与设备
8
《中国光学》
EI
CAS
2008年第2期96-97,共2页
关键词
能动磨盘
分辨力增强技术
相位掩模
技术与设备
光电工程
投影
光刻
机
微细加工
反射峰
深度光刻
相移掩模
下载PDF
职称材料
LIGA工艺制造微驱动马达的初步研究
9
作者
刘刚
伊福廷
等
《北京同步辐射装置年报》
1998年第1期219-219,共1页
关键词
LIGA工艺
微驱动马达
同步辐射
深度
X射线
光刻
下载PDF
职称材料
BSRF上同步辐射浓度光刻的实验研究
10
作者
彭良强
作福廷
等
《高能物理与核物理》
CSCD
北大核心
2001年第B12期128-130,共3页
大结构深度和高深宽比是同步辐射深度光刻的突出优点。提出采用现有掩模,进行多次曝光、显影的方法,实验获得厚2.2mm的胶结构。系列研究掩模、光刻胶、基底、光谱和光强对深宽比的影响,实验获得深宽比104的胶结构。
关键词
BSRF
实验研究
同步辐射
深度光刻
超深结构
高深宽比
掩膜
曝光
原文传递
题名
SU-8紫外深度光刻的误差及修正(英文)
被引量:
4
1
作者
郑津津
陈有梅
周洪军
田杨超
刘刚
李晓光
沈连婠
机构
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
国家同步辐射实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第12期1926-1931,共6页
基金
Supported by NSF of China (No 60473133
No 10575097)
+1 种基金
the ' Hundred Talented' Projects from ACS,the 973 Project (No 2006CB303102)
the SRFDP (No 20060358050),and the 111 Projects
文摘
在深紫外LIGA加工中,制作高精度大高宽比的微器件是很困难的。难点在于SU-8光刻胶对紫外光的吸收系数随着波长变短而很快变大,而且其穿透深度也相应迅速变小;同时由于紫外光的衍射效应,获得高精度的大高宽比结构并不容易。本文深入研究了影响紫外深度光刻图形转移精度的如下因素:衍射效应、曝光剂量、紫外光波长和蝇眼透镜的分布等等。建立了基于模型区域的校正系统,该校正系统采用了分类分区域的思想将掩模图形按其畸变的特点进行了分类,在校正过程中对不同的类别分别建立校正区域,在每一校正区域内进行校正优化处理和校正评价,这种基于模型的分类分区域评价思想,使得校正过程有效且实时,该校正方法不仅降低了校正的复杂性,同时提高了校正的效率。
关键词
SU-8
光刻
胶
紫外
深度光刻
掩模
图形转移
误差修正
Keywords
SU-8 photoresist
UV deep lithography
mask
pattern transfer
error correction
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
深紫外深度光刻蚀在LIGA工艺中的应用
被引量:
2
2
作者
余国彬
姚汉民
胡松
陈兴俊
机构
中国科学院光电技术研究所
出处
《微纳电子技术》
CAS
2002年第4期30-32,共3页
文摘
随着MEMS在各个领域的运用,人们也开始探讨低成本、操作方便的LIGA工艺。本文重点介绍了一种用于深紫外光深度光刻实验装置的设计,并将该实验装置成功地应用于LIGA工艺的深度光刻中,光刻实验结果表明深紫外光深度光刻具有很大的实用意义。
关键词
深紫外
深度光刻
蚀
LIGA工艺
微型机电系统
微细加工
Keywords
MEMS
micro-fabrication
LIGA process
deep lithography
分类号
TN405.7 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
UV-LIGA深度光刻机平滑衍射技术研究
被引量:
6
3
作者
余国彬
姚汉民
胡松
机构
中国科学院光电技术研究所
出处
《微细加工技术》
2002年第3期40-43,共4页
文摘
UV -LIGA深度光刻技术是加工微型机电系统的一项重要的微细加工技术。介绍了一种平滑衍射效应的位错强度叠加原理 ,它采用了蝇眼积分透镜去平滑衍射 ,并模拟数值计算了硅片表面的光强分布 。
关键词
深度光刻
机
UV-LIGA技术
平滑衍射
蝇眼积分透镜
错位强度叠加
Keywords
UV-LIGA technology
diffraction reducing
Fly's Eye Integral Lens
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
用于MEMS加工的双面深度光刻机对准系统设计
被引量:
2
4
作者
马平
唐小萍
杨春利
机构
中国科学院光电技术研究所
出处
《电子工业专用设备》
2003年第2期36-39,55,共5页
文摘
比较了光刻机中几种常用的对准方式,并分析了其优缺点,在此基础上对双面深度光刻机底面对准系统的设计原理、结构及对准过程做了详细阐述,并进行了对准系统的精度分析,最后介绍了为系统实现所采取的其他技术措施。实践证明,该对准系统应用于深紫外双面深度光刻机中,系统运行稳定、可靠,完全能满足系统的精度要求。
关键词
对准精度
掩模
微电子机械系统
MEMS
双面
深度光刻
机
对准系统
Keywords
Micro electromechanical system
Bottom side alignment
Alignment precision
Mask
Silicon
分类号
TN405.7 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
一种微细EDM电极的制造方法
被引量:
3
5
作者
彭良强
伊福廷
张菊芳
韩勇
张院春
机构
中国科学院
北京市机电研究院
出处
《电加工与模具》
2000年第6期43-45,共3页
文摘
针对微细EDM异形电极的加工难题 ,提出了利用同步辐射深度光刻和电铸技术相结合制造EDM电极的方法 ,可望较好地解决异形电极的制造问题。
关键词
同步辐射
深度光刻
电铸
EDM电极
制造方法
电火花加工
分类号
TG661 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
下载PDF
职称材料
题名
LIGA技术进展
被引量:
1
6
作者
陈迪
机构
上海交通大学信息存储研究中心
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第S1期57-58,共2页
文摘
LIGA技术进展陈迪(上海交通大学信息存储研究中心)LIGA是德文Lithograpie,Galvanoformung和Abformung三个词的缩写,是由X光深度光刻、微电铸和微塑铸三个工艺组成的制造三维微器件的先进制造技术。80年代初由德国卡尔斯...
关键词
LIGA技术
三维微器件
微电铸
同步辐射光源
微米纳米科学
技术进展
光刻
胶
掩模板
微加速度传感器
深度光刻
分类号
TH70 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
LIGA实验站的设计及应用
7
作者
田扬超
刘刚
洪义麟
郭育华
熊瑛
阚娅
机构
中国科学技术大学国家同步辐射实验室
出处
《中国科学技术大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第4期387-391,共5页
基金
国家大科学工程(NSRL二期工程)资助
文摘
介绍了国家同步辐射实验室二期建设的LIGA实验站,研究了同步辐射光发散角对深度同步辐射光刻精度的影响;对深度同步辐射光刻扫描台的精度提出了理论要求;报道了深度同步辐射光刻、电铸和塑铸的实验结果.
关键词
同步辐射
LIGA
深度光刻
Keywords
synchrotron radiation
LIGA
deep lithography
分类号
O434.14 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
微细加工技术与设备
8
出处
《中国光学》
EI
CAS
2008年第2期96-97,共2页
关键词
能动磨盘
分辨力增强技术
相位掩模
技术与设备
光电工程
投影
光刻
机
微细加工
反射峰
深度光刻
相移掩模
分类号
TG66 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
LIGA工艺制造微驱动马达的初步研究
9
作者
刘刚
伊福廷
等
机构
中国科学技术大学国家同步辐射实验室
北京正负电子对撞机国家实验室
出处
《北京同步辐射装置年报》
1998年第1期219-219,共1页
关键词
LIGA工艺
微驱动马达
同步辐射
深度
X射线
光刻
分类号
TM38 [电气工程—电机]
TL99 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
BSRF上同步辐射浓度光刻的实验研究
10
作者
彭良强
作福廷
等
机构
中国科学院高能物理研究所
出处
《高能物理与核物理》
CSCD
北大核心
2001年第B12期128-130,共3页
文摘
大结构深度和高深宽比是同步辐射深度光刻的突出优点。提出采用现有掩模,进行多次曝光、显影的方法,实验获得厚2.2mm的胶结构。系列研究掩模、光刻胶、基底、光谱和光强对深宽比的影响,实验获得深宽比104的胶结构。
关键词
BSRF
实验研究
同步辐射
深度光刻
超深结构
高深宽比
掩膜
曝光
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
SU-8紫外深度光刻的误差及修正(英文)
郑津津
陈有梅
周洪军
田杨超
刘刚
李晓光
沈连婠
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
4
下载PDF
职称材料
2
深紫外深度光刻蚀在LIGA工艺中的应用
余国彬
姚汉民
胡松
陈兴俊
《微纳电子技术》
CAS
2002
2
下载PDF
职称材料
3
UV-LIGA深度光刻机平滑衍射技术研究
余国彬
姚汉民
胡松
《微细加工技术》
2002
6
下载PDF
职称材料
4
用于MEMS加工的双面深度光刻机对准系统设计
马平
唐小萍
杨春利
《电子工业专用设备》
2003
2
下载PDF
职称材料
5
一种微细EDM电极的制造方法
彭良强
伊福廷
张菊芳
韩勇
张院春
《电加工与模具》
2000
3
下载PDF
职称材料
6
LIGA技术进展
陈迪
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996
1
下载PDF
职称材料
7
LIGA实验站的设计及应用
田扬超
刘刚
洪义麟
郭育华
熊瑛
阚娅
《中国科学技术大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007
0
下载PDF
职称材料
8
微细加工技术与设备
《中国光学》
EI
CAS
2008
0
下载PDF
职称材料
9
LIGA工艺制造微驱动马达的初步研究
刘刚
伊福廷
等
《北京同步辐射装置年报》
1998
0
下载PDF
职称材料
10
BSRF上同步辐射浓度光刻的实验研究
彭良强
作福廷
等
《高能物理与核物理》
CSCD
北大核心
2001
0
原文传递
已选择
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