衍射时差法(TOFD)技术的测量误差分析

从衍射时差法(TOFD)技术原理出发,分析了影响TOFD技术测量缺陷深度和高度误差的各种因素,推导出各种影响因素的理论误差公式,并对部分误差公式进行了试验验证。同时也指出深度和高度测量误差分析对TOFD检测的实际意义,包括不同工件厚度情况下仪器的校准方式、数据分析时的再校准等。