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对高速双极晶体管工艺条件的优化分析
1
作者
王晓峰
于祝鹏
《电子技术与软件工程》
2013年第24期262-262,共1页
随着科技的不断发展,对高速双极晶体管的研发与生产受到了更多的重视。本文基于深槽隔离与注入基区、为发射极扩散与Ti硅2经快速退火提出双层多晶硅双极技术。在选择性注入集电极与RTA工艺条件的影响进行分析,并提出相关的优化,结合实...
随着科技的不断发展,对高速双极晶体管的研发与生产受到了更多的重视。本文基于深槽隔离与注入基区、为发射极扩散与Ti硅2经快速退火提出双层多晶硅双极技术。在选择性注入集电极与RTA工艺条件的影响进行分析,并提出相关的优化,结合实验结果,制造出质量更高的高速双极晶体管。
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关键词
高速双极晶体管
深槽耳熟
选择性
快速退火
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职称材料
题名
对高速双极晶体管工艺条件的优化分析
1
作者
王晓峰
于祝鹏
机构
深圳深爱半导体股份有限公司
出处
《电子技术与软件工程》
2013年第24期262-262,共1页
文摘
随着科技的不断发展,对高速双极晶体管的研发与生产受到了更多的重视。本文基于深槽隔离与注入基区、为发射极扩散与Ti硅2经快速退火提出双层多晶硅双极技术。在选择性注入集电极与RTA工艺条件的影响进行分析,并提出相关的优化,结合实验结果,制造出质量更高的高速双极晶体管。
关键词
高速双极晶体管
深槽耳熟
选择性
快速退火
分类号
TN322.8 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
对高速双极晶体管工艺条件的优化分析
王晓峰
于祝鹏
《电子技术与软件工程》
2013
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