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基于变切深纳米刻划的K9玻璃表面成形特征及去除机制研究 被引量:9
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作者 张飞虎 李琛 +2 位作者 孟彬彬 赵航 刘忠德 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第17期65-71,共7页
采用Berkovich压头,在纳米压痕仪上对K9光学玻璃进行了变切深纳米刻划试验。为探究摩擦因数与脆塑转变的深度,基于非线性最小二乘法对法向力、切向力关于刻划深度进行了拟合,并利用相关系数r检验其可靠性。利用AFM和SEM对刻划沟槽表面... 采用Berkovich压头,在纳米压痕仪上对K9光学玻璃进行了变切深纳米刻划试验。为探究摩擦因数与脆塑转变的深度,基于非线性最小二乘法对法向力、切向力关于刻划深度进行了拟合,并利用相关系数r检验其可靠性。利用AFM和SEM对刻划沟槽表面形貌进行分析,刻划过程存在弹塑转变、塑性去除和脆性断裂三个阶段。基于Hertz接触理论求得K9玻璃弹塑转变深度,根据AFM和SEM的结果,以裂纹刚开始萌生作为脆塑转变点,获得脆塑转变的临界深度。基于脆塑转变深度,通过添加修正系数,改进WEI提出的脆塑转变表征方法,建立了用摩擦因数来表征K9玻璃脆塑转变的表达式。通过分析压头在刻划过程中与工件产生的摩擦区,对脆性断裂阶段裂纹的产生和裂纹方向与刻划方向近似呈60°进行了解释。 展开更多
关键词 变切深纳米刻划 K9玻璃 去除特征 脆塑转变
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面向45纳米制造工艺的技术研究 被引量:5
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作者 高腾 《集成电路应用》 2003年第7期49-51,共3页
随着130纳米技术成为集成电路制造工业的主流技术,以及90纳米技术的逐渐成熟,欧洲微电子领域最大的独立研究中心TMEC,已将其研究重心转移到更小尺寸的工艺技术。其中,面向45纳米及更小尺寸的工艺研究项目包括:(1)157纳米深紫外线(DUV)... 随着130纳米技术成为集成电路制造工业的主流技术,以及90纳米技术的逐渐成熟,欧洲微电子领域最大的独立研究中心TMEC,已将其研究重心转移到更小尺寸的工艺技术。其中,面向45纳米及更小尺寸的工艺研究项目包括:(1)157纳米深紫外线(DUV)和极深紫外线(EUV)光刻;(2)用于平面缩小器件(Scaled Planar Device)的高迁移率膜的应用和先进的源/漏极工程方案;(3)用于平面缩小器件(Scaled Planar Device) 展开更多
关键词 集成电路 45纳米制造工艺 157纳米紫外线光刻 紫外线光刻 高迁移率膜 金属栅极 CMOS器件 互连 清洗 杂质控制
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新兴技术的挑战:如何支持芯片设计?
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作者 DE MICHELI Giovanni 《微纳电子与智能制造》 2022年第2期4-12,共9页
本文将集中探讨面对新兴技术的挑战,芯片设计该如何适应这一发展潮流。集成电路技术正处于多样化的路口,本文介绍了集成电路新技术在二维材料、超导电路和量子计算发展方向;探讨从自上而下和自下而上不同的角度适应新技术的挑战,包括顶... 本文将集中探讨面对新兴技术的挑战,芯片设计该如何适应这一发展潮流。集成电路技术正处于多样化的路口,本文介绍了集成电路新技术在二维材料、超导电路和量子计算发展方向;探讨从自上而下和自下而上不同的角度适应新技术的挑战,包括顶层视角的功耗控制、接口建立和大数据通信,底层视角的物理设计、超导电路时钟、量子编译等。文章以传感器与电路集成的视角,探讨技术融合可以带来巨大的应用前景,以微型离子传感器和持续十年的大型项目Nano-Tera系统为示例,阐述该系统如何实现地球运动精密测量,监测岩石和冰层的微小位移。 展开更多
关键词 量子计算 超导电子学 三维集成 深纳米 传感器
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2024 aluminum alloy ultrahigh-strength sheet due to two-level nanostructuring under cryorolling and heat treatment 被引量:6
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作者 Stanislav KRYMSKIY Oleg SITDIKOV +1 位作者 Elena AVTOKRATOVA Michael MARKUSHEV 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2020年第1期14-26,共13页
The effect of rolling to a total effective strain of 2 at the liquid nitrogen temperature and subsequent natural and artificial aging on the structure and service properties of the pre-quenched hot-pressed 2024 alumin... The effect of rolling to a total effective strain of 2 at the liquid nitrogen temperature and subsequent natural and artificial aging on the structure and service properties of the pre-quenched hot-pressed 2024 aluminum alloy was investigated.Using optical and electron microscopy,and X-ray analysis,it was found that the cryorolling did not qualitatively change the type of the initial coarse-fibered microstructure,but produced a well-developed nanocell substructure inside fibers.Further aging led to decomposition of the preliminary supersaturated and work-hardened aluminum solid solution and precipitation of strengthening phases in the statically recovered and/or recrystallized matrix.As a result,the rolled and naturally aged alloy demonstrated the yield and ultimate tensile strengths(YS=590 MPa,UTS=640 MPа)much higher than those in the pressed andТ6-heat treated alloy at equal elongation to failure(El^6%).Artificial aging at a temperature less than conventional T6 route could provide the extra alloy strengthening and the unique balance of mechanical properties,involving enhanced strength(YS=610 MPa,UTS=665 MPа)and ductility(El^10%),and good static crack resistance(the specific works for crack formation and growth were 42 and 18 k J/m^2,respectively)and corrosion resistance(the intensity and depth of intercrystalline corrosion were 23%and 50μm,respectively). 展开更多
关键词 aluminum alloy cryogenic rolling heat treatment NANOSTRUCTURE mechanical behavior intergranular corrosion
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Enhancement of heat radiative characteristics of coatings by ultra-attenuation 被引量:2
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作者 DehongXia YonghongWu 《Journal of University of Science and Technology Beijing》 CSCD 2004年第2期157-160,共4页
The absorption process of radiative heat in its transmission medium and the effect of ultra-attenuation on the radiative characteristics are analyzed in detail. A method of ultra-attenuation to enhance the radiative c... The absorption process of radiative heat in its transmission medium and the effect of ultra-attenuation on the radiative characteristics are analyzed in detail. A method of ultra-attenuation to enhance the radiative characteristics of the medium is proposed. It is proved that decreasing the particle size of coatings can increase the transmission depth of radiative heat and get higher emissivity and absorptivity both theoretically and practically. Ultra-attenuation and nanocrystallization will bring a brilliant prospect to the development of radiative coatings. 展开更多
关键词 radiative heat ultra-attenuation transmission depth EMISSIVITY ABSORPTIVITY
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深冷纳米工艺为未来半导体工艺创造条件
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作者 杨英慧 《现代材料动态》 2004年第3期14-14,共1页
英国牛津超导仪器公司生产出一种超低温系统,利用该系统可使半导体材料的研究在深冷条件下进行。该公司可提供超低温系统,它所提供的特别低温环境对量子电子学、量子计算机及量子纳米工艺的研究是至关重要的。
关键词 纳米工艺 半导体材料 英国 超低温系统
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The effect of P^+ deep well doping on SET pulse propagation 被引量:7
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作者 QIN JunRui CHEN ShuMing +2 位作者 LIU BiWei LIU FanYu CHEN JianJun 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2012年第3期665-672,共8页
The change of P+ deep well doping will affect the charge collection of the active and passive devices in nano-technology,thus affecting the propagated single event transient(SET) pulsewidths in circuits.The propagated... The change of P+ deep well doping will affect the charge collection of the active and passive devices in nano-technology,thus affecting the propagated single event transient(SET) pulsewidths in circuits.The propagated SET pulsewidths can be quenched by reducing the doping of P+ deep well in the appropriate range.The study shows that the doping of P+ deep well mainly affects the bipolar amplification component of SET current,and that changing the P+ deep well doping has little effect on NMOS but great effect on PMOS. 展开更多
关键词 P+ deep well SET pulsewidths SET propagation QUENCHING charge collection
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