基于氦质谱检漏仪的清氦技术研究

从氦质谱检漏仪的检漏过程出发,通过实验讨论氦质谱检仪的清氦方式,对氦质谱检漏增加氮气清洗装置的改进,并讨论仪器的清氦过程。