传热面流体动力机械在线自动清洗防垢技术及其新发展

传热面流体动力机械在线自动清洗防垢技术综合了自动清洗防垢与传热强化两者的优势,克服了周期性停车清洗的局限性。已经在工业成功应用的主要是自转螺旋与内循环流态化两大类技术。简述了研究所近二十年在自转螺旋清洗技术开发、理论研究、与工业应用方面取得的进展,展示出广阔的应用前景,尤其在蒸发器和电厂真空冷凝器方面有希望取得重大突破和巨大的经济效益。并且介绍了这方面技术的国内外发展趋势和内循环流态化清洗技术的最新研究。

单涡旋式水流清洗机流场特性分析

对具有U型清洗槽的单涡旋式果蔬水流清洗机,涡旋式水流清洗强化特性进行数值研究,探讨U型清洗槽内横纵孔淹没水射流形成单涡旋水流清洗动力的规律,及涡旋流对清洗湍流强化作用。通过对不同的横纵孔射流流量比下清洗槽内三维流动的数值进行模拟,计算结果表明:横纵射流流量决定了单涡旋形成的三维分布和强度;纵向射流的水平位置,影响横纵射流的相互作用强度,射流位置距离近相互作用强,形成涡旋流动显著,促进对单涡旋向出口下游的迁移;涡旋流形成区具有较高的湍流强度,表明具有显著清洗强化作用。

欧洲IC制造商订购多套ANTARES超凝态过冷动力学清洗系统

FsI国际有限公司近日宣布：一家领先的欧洲集成电路制造商在现场评估项目成功地验证了缺陷排除之后，已经购买多套ANTARESCX超凝态过冷动力学清洗系统。这些系统将用于先进器件平面结构或元件结构的前段(FEOL)和后段(BEOL)中缺陷排除。这批系统的营业收人预计将记录在2005财年的前半年。

动力波法脱除化肥厂煤气中的H_2S

利用自制的动力波实验装置,以氢氧化钠溶液为脱硫剂,模拟煤气组成,研究了不同操作条件下脱硫效率的变化。得到了装置达到最高脱硫效率时的相应操作条件。实验中发现,同样操作条件下,随着处理柱塔径的增加,脱硫率下降。因此得出:塔中心处净化效率高,塔壁处低,塔径越大,总净化效率越低。对高负荷的生产设备可采用"多中心效应"的方法,强化传质过程,提高总净化效率。在此基础上,对动力波工业装置进行设计。

90～65nm清洗新技术

简单说明了清洗技术在90～65nm节点技术阶段的新发展,着重介绍了一种新的清洗技术—低温冷凝清洗技术产生的背景、技术现状及其应用,对我国半导体清洗行业的未来发展提出建议。

FSI国际90nm技术节点ANTARES~超凝态过冷动力学技术继续保持全球领先势头

FSI国际有限公司近日宣布：在2005财年第三季度中，来自欧洲、亚太地区、日本以及美国的领先集成电路制造商对于ANTARES超凝态过冷动力学清洗系统的需求十分强劲。传统上用于后段（BEOL）缺陷去除的ANTARES系统，随着客户将90nm器件技术应用于批量生产而得到了更广泛的应用。