绿色二氧化碳超流体半导体清洗设备

传统半导体清洗技术无法对硅片上的微小器件间的缝隙和线条进行有效清洗,以超临界二氧化碳为媒体的清洗技术则可克服上述缺点。超临界二氧化碳具有零表面张力、低黏度、强扩散能力和溶解能力等特性,并且无毒无臭、可以循环使用,在下一代半导体清洗和清洗后的干燥过程中有极强的应用前景。提出了一种绿色二氧化碳超流体半导体清洗设备,它可实现超流体清洗和超临界干燥,二氧化碳循环使用,属于新型高效的下一代绿色半导体清洗设备。

纸质档案修复中的清洁技术

纸质文献在长期保存和使用过程中,由于年代久远,环境中灰尘颗粒的覆盖、霉菌滋生、气体侵蚀等因素,泥斑、水渍、霉斑、油斑等在所难免。有些污渍会污染纸张,附着于纸张表面或渗透到纤维内部,影响纸张寿命;有些遮盖字迹影响阅读。清洗纸质文献的就显得尤为重要,是修复工作中非常重要的一项内容,是修补、托裱等修复工作的前期工作。中国自古至今所使用的清洁方法比较单一,水洗是常用的方法。本文针对国内外近些年来清洁技术、设备的研究、发展及其应用,在分析对比各类清洁方法的基础上,针对不同的污染物类型介绍具有实操性的技术与方法,以便于指导实际工作,填补我国清洁设备与技术的空白。