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低电阻p-DBR结构的模拟分析 被引量：2
1
作者 马丽娜 郭霞 +5 位作者 盖红星 渠红伟 董立闽 邓军 廉鹏 沈光地 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第6期56-59,共4页
设计了低电阻的渐变型分布布拉格反射器(DBR)结构,模拟分析了采用渐变p-DBR结构对价带能带的影响,并详细讨论了渐变形状、渐变区宽度、掺杂浓度等参数对低电阻渐变DBR结构的价带势垒的影响。利用MOCVD技术制备了实验样品,模拟结果与实... 设计了低电阻的渐变型分布布拉格反射器(DBR)结构,模拟分析了采用渐变p-DBR结构对价带能带的影响,并详细讨论了渐变形状、渐变区宽度、掺杂浓度等参数对低电阻渐变DBR结构的价带势垒的影响。利用MOCVD技术制备了实验样品,模拟结果与实验数据基本吻合。 展开更多
关键词 渐变布拉格反射器 渐变形状 价带势垒
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