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傅里叶合成法设计渐变折射率薄膜
被引量:
3
1
作者
鄢秋荣
黄伟
张云洞
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2007年第z1期683-687,共5页
傅里叶合成方法是一种可以根据期望的光谱特性曲线设计渐变折射率薄膜的方法。叙述了该方法的原理和Q函数的选择。介绍了修正方法使设计膜层折射率在可获得薄膜材料折射率范围内和把膜层匹配到入射介质和基底两端界面的技术。并用该方...
傅里叶合成方法是一种可以根据期望的光谱特性曲线设计渐变折射率薄膜的方法。叙述了该方法的原理和Q函数的选择。介绍了修正方法使设计膜层折射率在可获得薄膜材料折射率范围内和把膜层匹配到入射介质和基底两端界面的技术。并用该方法设计ZnSe基底3~12μm红外增透渐变折射率薄膜,在设计波段平均透射率达到95%。最后对该方法作了相关评论。
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关键词
傅里叶合成法
渐变折射率薄膜
匹配层
Q函数
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职称材料
渐变折射率薄膜折射率轮廓的分层检测法
被引量:
1
2
作者
董莹
杭凌侠
胡九龙
《西安工业大学学报》
CAS
2013年第4期283-288,共6页
对实际渐变折射率薄膜的折射率轮廓进行测量评价.从线性渐变折射率薄膜的折射率轮廓和反射率光谱之间的关系出发,采用反演技术结合梯度薄膜与渐变折射率薄膜的等效原理,对渐变折射率薄膜的折射率轮廓进行模拟测量,得到了实际镀制的渐变...
对实际渐变折射率薄膜的折射率轮廓进行测量评价.从线性渐变折射率薄膜的折射率轮廓和反射率光谱之间的关系出发,采用反演技术结合梯度薄膜与渐变折射率薄膜的等效原理,对渐变折射率薄膜的折射率轮廓进行模拟测量,得到了实际镀制的渐变折射率薄膜的折射率轮廓.结果表明,使用该方法得到的折射轮廓对应的反射率曲线和实测反射率曲线直接的误差不超过0.4%.
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关键词
薄膜
光学
渐变折射率薄膜
折射率
轮廓
分层等效原理
薄膜
光学常数
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职称材料
渐变折射率Ta_2O_5/SiO_2薄膜多脉冲激光损伤特性
被引量:
3
3
作者
蒲云体
陈松林
+4 位作者
乔曌
刘浩
王刚
胡江川
马平
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第2期164-167,共4页
采用离子束溅射(IBS)的方式,制备了1064nm高反射Ta2O5/SiO2渐变折射率光学薄膜。对其光学性能和在基频多脉冲下抗损伤性能进行了分析。通过渐变折射率的设计方式,很好地抑制了边带波纹,增加了1064nm反射率。通过对损伤阈值的分析发现,...
采用离子束溅射(IBS)的方式,制备了1064nm高反射Ta2O5/SiO2渐变折射率光学薄膜。对其光学性能和在基频多脉冲下抗损伤性能进行了分析。通过渐变折射率的设计方式,很好地抑制了边带波纹,增加了1064nm反射率。通过对损伤阈值的分析发现,随着脉冲个数的增加,损伤阈值下降明显;但是在20个脉冲数后,损伤阈值(维持在22J/cm2左右)几乎保持不变直到100个脉冲数。通过Leica显微镜对损伤形貌的观察,发现损伤诱因是薄膜表面的节瘤缺陷。通过扫描电镜(SEM)以及聚集离子束(FIB)对薄膜表面以及断面的观察,证实了薄膜的损伤起源于薄膜表面的节瘤缺陷。进一步研究得出,渐变折射率薄膜在基频光单脉冲下损伤主要是由初始节瘤缺陷引起的,在后续多脉冲激光辐照下初始节瘤缺陷引起烧蚀坑的面积扩大扫过薄膜上的其他节瘤缺陷,引起了其他节瘤缺陷的喷射使损伤加剧,造成损伤的"累积效应"。
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关键词
离子束溅射
渐变
折射率
光学
薄膜
多脉冲
损伤阈值
节瘤缺陷
累积效应
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职称材料
硒化锌基底3~12μm渐变折射率红外增透膜的设计
被引量:
4
4
作者
鄢秋荣
黄伟
张云洞
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期177-180,共4页
叙述了傅里叶合成方法的原理和该方法用于ZnSe基底3~12μm红外增透膜的设计。通过反傅里叶变换期望的光谱特性曲线得到渐变折射率膜层。用薄膜特征矩阵的方法计算细分成很薄的多层均匀膜层的光谱透过率曲线,构造了新的Q函数和用逐次近...
叙述了傅里叶合成方法的原理和该方法用于ZnSe基底3~12μm红外增透膜的设计。通过反傅里叶变换期望的光谱特性曲线得到渐变折射率膜层。用薄膜特征矩阵的方法计算细分成很薄的多层均匀膜层的光谱透过率曲线,构造了新的Q函数和用逐次近似的方法修正膜层的折射率轮廓图,能有效地减小与期望透射率曲线的偏差。再给膜层加上五次方多项式匹配层与空气和基底两侧界面相匹配。所得渐变折射率增透膜在设计波段平均透射率达到95%。
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关键词
红外增透膜
渐变折射率薄膜
傅里叶合成法
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职称材料
薄膜光学 薄膜光学理论与膜系设计
5
《中国光学与应用光学》
2007年第4期61-64,共4页
关键词
薄膜
光学
ZnO
渐变折射率薄膜
膜系设计
衬底温度
透射光谱
发光性能
光学带隙
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职称材料
磁性材料、超导材料和器件
6
《中国无线电电子学文摘》
2006年第4期15-19,共5页
关键词
薄膜
材料
中国科学院上海光学精密机械研究所
锰锌铁氧体材料
磁性材料
电工材料
激光损伤阈值
等效
折射率
陶瓷样品
渐变折射率薄膜
高磁导率
缺陷模
低温晶片键合
超导材料
金属材料
器件
TiO
压电性能
键合界面
形核场
原文传递
题名
傅里叶合成法设计渐变折射率薄膜
被引量:
3
1
作者
鄢秋荣
黄伟
张云洞
机构
中国科学院光电技术研究所
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2007年第z1期683-687,共5页
文摘
傅里叶合成方法是一种可以根据期望的光谱特性曲线设计渐变折射率薄膜的方法。叙述了该方法的原理和Q函数的选择。介绍了修正方法使设计膜层折射率在可获得薄膜材料折射率范围内和把膜层匹配到入射介质和基底两端界面的技术。并用该方法设计ZnSe基底3~12μm红外增透渐变折射率薄膜,在设计波段平均透射率达到95%。最后对该方法作了相关评论。
关键词
傅里叶合成法
渐变折射率薄膜
匹配层
Q函数
Keywords
Fourier-transform method
Gradient-index thin film
Maching layers
Q function
分类号
O484 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
渐变折射率薄膜折射率轮廓的分层检测法
被引量:
1
2
作者
董莹
杭凌侠
胡九龙
机构
陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室
出处
《西安工业大学学报》
CAS
2013年第4期283-288,共6页
文摘
对实际渐变折射率薄膜的折射率轮廓进行测量评价.从线性渐变折射率薄膜的折射率轮廓和反射率光谱之间的关系出发,采用反演技术结合梯度薄膜与渐变折射率薄膜的等效原理,对渐变折射率薄膜的折射率轮廓进行模拟测量,得到了实际镀制的渐变折射率薄膜的折射率轮廓.结果表明,使用该方法得到的折射轮廓对应的反射率曲线和实测反射率曲线直接的误差不超过0.4%.
关键词
薄膜
光学
渐变折射率薄膜
折射率
轮廓
分层等效原理
薄膜
光学常数
Keywords
optical thin film
inhomogeneous films
profile
stratification equivalence
optical parameters
分类号
O484.41 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
渐变折射率Ta_2O_5/SiO_2薄膜多脉冲激光损伤特性
被引量:
3
3
作者
蒲云体
陈松林
乔曌
刘浩
王刚
胡江川
马平
机构
成都精密光学工程研究中心
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第2期164-167,共4页
文摘
采用离子束溅射(IBS)的方式,制备了1064nm高反射Ta2O5/SiO2渐变折射率光学薄膜。对其光学性能和在基频多脉冲下抗损伤性能进行了分析。通过渐变折射率的设计方式,很好地抑制了边带波纹,增加了1064nm反射率。通过对损伤阈值的分析发现,随着脉冲个数的增加,损伤阈值下降明显;但是在20个脉冲数后,损伤阈值(维持在22J/cm2左右)几乎保持不变直到100个脉冲数。通过Leica显微镜对损伤形貌的观察,发现损伤诱因是薄膜表面的节瘤缺陷。通过扫描电镜(SEM)以及聚集离子束(FIB)对薄膜表面以及断面的观察,证实了薄膜的损伤起源于薄膜表面的节瘤缺陷。进一步研究得出,渐变折射率薄膜在基频光单脉冲下损伤主要是由初始节瘤缺陷引起的,在后续多脉冲激光辐照下初始节瘤缺陷引起烧蚀坑的面积扩大扫过薄膜上的其他节瘤缺陷,引起了其他节瘤缺陷的喷射使损伤加剧,造成损伤的"累积效应"。
关键词
离子束溅射
渐变
折射率
光学
薄膜
多脉冲
损伤阈值
节瘤缺陷
累积效应
Keywords
ion beam sputtering
gradient index optical thin film
multi-shot pulses
laser-induced damage threshold
nodular defect
damage accumulation effects
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
硒化锌基底3~12μm渐变折射率红外增透膜的设计
被引量:
4
4
作者
鄢秋荣
黄伟
张云洞
机构
中国科学院光电技术研究所
出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期177-180,共4页
文摘
叙述了傅里叶合成方法的原理和该方法用于ZnSe基底3~12μm红外增透膜的设计。通过反傅里叶变换期望的光谱特性曲线得到渐变折射率膜层。用薄膜特征矩阵的方法计算细分成很薄的多层均匀膜层的光谱透过率曲线,构造了新的Q函数和用逐次近似的方法修正膜层的折射率轮廓图,能有效地减小与期望透射率曲线的偏差。再给膜层加上五次方多项式匹配层与空气和基底两侧界面相匹配。所得渐变折射率增透膜在设计波段平均透射率达到95%。
关键词
红外增透膜
渐变折射率薄膜
傅里叶合成法
Keywords
infrared antireflection film
gradient-index thin film
Fourier-transform method
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
薄膜光学 薄膜光学理论与膜系设计
5
出处
《中国光学与应用光学》
2007年第4期61-64,共4页
关键词
薄膜
光学
ZnO
渐变折射率薄膜
膜系设计
衬底温度
透射光谱
发光性能
光学带隙
分类号
O484.41 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
磁性材料、超导材料和器件
6
出处
《中国无线电电子学文摘》
2006年第4期15-19,共5页
关键词
薄膜
材料
中国科学院上海光学精密机械研究所
锰锌铁氧体材料
磁性材料
电工材料
激光损伤阈值
等效
折射率
陶瓷样品
渐变折射率薄膜
高磁导率
缺陷模
低温晶片键合
超导材料
金属材料
器件
TiO
压电性能
键合界面
形核场
分类号
TN11 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
傅里叶合成法设计渐变折射率薄膜
鄢秋荣
黄伟
张云洞
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2007
3
下载PDF
职称材料
2
渐变折射率薄膜折射率轮廓的分层检测法
董莹
杭凌侠
胡九龙
《西安工业大学学报》
CAS
2013
1
下载PDF
职称材料
3
渐变折射率Ta_2O_5/SiO_2薄膜多脉冲激光损伤特性
蒲云体
陈松林
乔曌
刘浩
王刚
胡江川
马平
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
3
下载PDF
职称材料
4
硒化锌基底3~12μm渐变折射率红外增透膜的设计
鄢秋荣
黄伟
张云洞
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2008
4
下载PDF
职称材料
5
薄膜光学 薄膜光学理论与膜系设计
《中国光学与应用光学》
2007
0
下载PDF
职称材料
6
磁性材料、超导材料和器件
《中国无线电电子学文摘》
2006
0
原文传递
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