小功率微波微等离子体源的集成研究

提出了一种小功率集成微波微等离子体源的结构,通过平面微带渐变螺旋电感耦合线圈激励微波微等离子体。研究表明,该集成微波微等离子体源具有频率可调、功率可调的特点,频率范围为2.3~2.6GHz,输出功率范围为20~40dBm。在频率为2477MHz、空气真空度为3.7 Torr,输入功率为2.15W时,平面微带渐变螺旋电感耦合线圈能较好激励起微波微等离子体,这为微波微等离子体源的小型化研究提供了基础。

片上磁性薄膜电感设计与仿真

无源电感广泛应用在射频电路中,用于实现调谐、匹配、滤波等功能。针对片上空心平面螺旋电感的电感值和品质因数低的问题,设计了不同的磁通孔结构,并研究其对电感性能的影响,其中手指型磁通孔结构可以更有效降低涡流损耗。利用HFSS软件比较分析了两种优化后的磁通孔结构对固定线圈平面螺旋电感以及渐变型线圈平面螺旋电感的电感值以及品质因数等的影响。结果表明,顶部和底部磁膜不覆盖磁通孔的结构可以大幅度提高电感值和品质因数,且对渐变型平面螺旋电感的提高作用更为明显。该研究为后续磁膜微电感的设计优化提供了很好的借鉴经验。