钛等离子渗氧研究

探讨了空心阴极效应 (HollowCathodeEffect)、离子轰击对钛氧化层结构的影响。结果表明 ,离子轰击加强氧的离化、促进渗氧 。

钛等离子渗氧研究

为了提高钛表面硬度和耐磨性，采用辉光放电等离子渗氧技术对钛进行表面处理．结果表明，渗氧层厚度与氧分压、温度和时间呈明显的对应关系．特别是，在空心阴极辉光放电条件下，离子轰击会加强氧的离子化，促进渗氧，有助于低价态氧化物的形成．在表层所形成的ＴｉＯ其硬度达到或接近ＴｉＮ的硬度水平．