泰曼-格林型静态便携式干涉仪的设计

基于经典泰曼-格林干涉理论提出了一种改进的干涉仪光路设计方案。与经典干涉理论对比,该方案具有共光路、结构紧凑、对环境因素不敏感、系统使用效率高等特点。通过对光学系统及标准平面的优化设计,其理论精度极值(PV)<1/12λ(λ=632.8nm)。对具体的光学系统、微调机构组件进行了三维设计,对干涉仪进行了实际装配调整,并与Mo¨ller像移式干涉仪做了比对测试实验,结果表明,该小型干涉仪的实际测量精度PV值<1/10λ。