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基于数据处理的高精度温压复合传感器的研究与设计 被引量:5
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作者 谢锋 程文进 曹勇全 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第12期1845-1849,共5页
为了满足航天测量领域重量轻精度高的测量要求,传感器仅用单个扩散硅压力敏感探头,实现温度和压力的复合测量。通过测量敏感探头恒流激励模式多温度点多压力点下的桥电压作为原始标定数据。数据处理过程抓住主要影响因子来拟合输入输出... 为了满足航天测量领域重量轻精度高的测量要求,传感器仅用单个扩散硅压力敏感探头,实现温度和压力的复合测量。通过测量敏感探头恒流激励模式多温度点多压力点下的桥电压作为原始标定数据。数据处理过程抓住主要影响因子来拟合输入输出变量函数。然后采用直线或曲线族的插值的误差修正方式来降低拟合误差。传感器压力综合精度从1.13%FS提高到0.05%FS的综合精度,温度综合精度从2.06%FS提高到0.05%FS的综合精度,最终满足用户0.05%FS综合精度的技术指标要求。 展开更多
关键词 温压一体传感器 数据处理 误差修正 曲线簇插值
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