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GOI法蓝宝石单晶生长温场优化设计与模拟分析
被引量:
3
1
作者
许承海
孟松鹤
+2 位作者
杜善义
左洪波
张明福
《航空材料学报》
EI
CAS
CSCD
2006年第5期81-85,共5页
通过对温场的数值模拟计算,发现外加轴向、径向温度梯度能够提高界面稳定性,减小熔体热对流,有利提高晶体的生长质量。根据大尺寸蓝宝石晶体生长的温场要求,对常规的GO I法晶体生长炉进行了改造,并设计了独特的加热体形状和隔热屏结构,...
通过对温场的数值模拟计算,发现外加轴向、径向温度梯度能够提高界面稳定性,减小熔体热对流,有利提高晶体的生长质量。根据大尺寸蓝宝石晶体生长的温场要求,对常规的GO I法晶体生长炉进行了改造,并设计了独特的加热体形状和隔热屏结构,能够为晶体生长系统提供可控的轴向、径向温度梯度。通过试验比较也证明了改造温场后的单晶炉能够生长出性能较好的大尺寸蓝宝石晶体。
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关键词
温场优化
数值模拟
蓝宝石
GOI法
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职称材料
氟化钙单晶炉温场的计算机模拟及改进
2
作者
朱逢锐
林玉娥
+2 位作者
徐超
张钦辉
甄西合
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第8期2034-2038,共5页
对氟化钙晶体生长炉的顶部保温、加热器和下保温装置进行了改进研究。结合数值模拟,对改进前后晶体的轴向温度梯度、径向温度梯度和固液界面附近温度分布进行了对比分析。模拟结果表明,改进了顶部保温后增加了晶体炉内的辐射传热,有效...
对氟化钙晶体生长炉的顶部保温、加热器和下保温装置进行了改进研究。结合数值模拟,对改进前后晶体的轴向温度梯度、径向温度梯度和固液界面附近温度分布进行了对比分析。模拟结果表明,改进了顶部保温后增加了晶体炉内的辐射传热,有效降低了温度梯度,减小了晶体内热应力从而避免了晶体开裂;对加热器和底部保温进行改进后,减少了坩埚底部的热损失,相同温度时降低了加热功率。
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关键词
氟化钙晶体
提拉法
数值模拟
温场优化
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职称材料
基于数值模拟电子级多晶硅还原炉流动结构改进研究
被引量:
3
3
作者
梁世民
张胜涛
+2 位作者
何银凤
付昊
赵丽丽
《人工晶体学报》
EI
CAS
北大核心
2019年第3期545-549,共5页
针对现役电子级多晶硅还原炉炉内气体循环不强、硅棒桥接处沉积质量较差的问题,提出了调整喷嘴直径的优化方案,并利用建模工具建立了原有设计和优化设计的物理模型,对炉体内部的混合气体流动、硅芯电阻加热、辐射传热等进行了数值模拟计...
针对现役电子级多晶硅还原炉炉内气体循环不强、硅棒桥接处沉积质量较差的问题,提出了调整喷嘴直径的优化方案,并利用建模工具建立了原有设计和优化设计的物理模型,对炉体内部的混合气体流动、硅芯电阻加热、辐射传热等进行了数值模拟计算,计算结果收敛,经后处理得到不同设计下炉体内部流速、温度及硅棒表面温度分布云图。实验表明,在其他工艺条件不变的情况下,优化设计可以提供比原有设计更高的沉积速率和致密料比例。
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关键词
多晶硅
CVD反应
数值模拟
流动结构
温场优化
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职称材料
题名
GOI法蓝宝石单晶生长温场优化设计与模拟分析
被引量:
3
1
作者
许承海
孟松鹤
杜善义
左洪波
张明福
机构
哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所
出处
《航空材料学报》
EI
CAS
CSCD
2006年第5期81-85,共5页
文摘
通过对温场的数值模拟计算,发现外加轴向、径向温度梯度能够提高界面稳定性,减小熔体热对流,有利提高晶体的生长质量。根据大尺寸蓝宝石晶体生长的温场要求,对常规的GO I法晶体生长炉进行了改造,并设计了独特的加热体形状和隔热屏结构,能够为晶体生长系统提供可控的轴向、径向温度梯度。通过试验比较也证明了改造温场后的单晶炉能够生长出性能较好的大尺寸蓝宝石晶体。
关键词
温场优化
数值模拟
蓝宝石
GOI法
Keywords
optimization of temperature field
numerical simulation
sapphire
GOI method
分类号
O781 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
氟化钙单晶炉温场的计算机模拟及改进
2
作者
朱逢锐
林玉娥
徐超
张钦辉
甄西合
机构
安徽理工大学计算机科学与工程学院
北京玻璃研究院
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第8期2034-2038,共5页
基金
安徽高校自然科学研究项目(KJ2016A203)
文摘
对氟化钙晶体生长炉的顶部保温、加热器和下保温装置进行了改进研究。结合数值模拟,对改进前后晶体的轴向温度梯度、径向温度梯度和固液界面附近温度分布进行了对比分析。模拟结果表明,改进了顶部保温后增加了晶体炉内的辐射传热,有效降低了温度梯度,减小了晶体内热应力从而避免了晶体开裂;对加热器和底部保温进行改进后,减少了坩埚底部的热损失,相同温度时降低了加热功率。
关键词
氟化钙晶体
提拉法
数值模拟
温场优化
Keywords
CaF2 crystal
Czochralski method
numerical modeling
temperature field optimization
分类号
O78 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
基于数值模拟电子级多晶硅还原炉流动结构改进研究
被引量:
3
3
作者
梁世民
张胜涛
何银凤
付昊
赵丽丽
机构
青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司
哈尔滨工业大学化工与化学学院
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
北大核心
2019年第3期545-549,共5页
文摘
针对现役电子级多晶硅还原炉炉内气体循环不强、硅棒桥接处沉积质量较差的问题,提出了调整喷嘴直径的优化方案,并利用建模工具建立了原有设计和优化设计的物理模型,对炉体内部的混合气体流动、硅芯电阻加热、辐射传热等进行了数值模拟计算,计算结果收敛,经后处理得到不同设计下炉体内部流速、温度及硅棒表面温度分布云图。实验表明,在其他工艺条件不变的情况下,优化设计可以提供比原有设计更高的沉积速率和致密料比例。
关键词
多晶硅
CVD反应
数值模拟
流动结构
温场优化
Keywords
polysilicon
chemical vapor deposition
numerical simulation
flow structure
temperature field optimization
分类号
TQ127.2 [化学工程—无机化工]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
GOI法蓝宝石单晶生长温场优化设计与模拟分析
许承海
孟松鹤
杜善义
左洪波
张明福
《航空材料学报》
EI
CAS
CSCD
2006
3
下载PDF
职称材料
2
氟化钙单晶炉温场的计算机模拟及改进
朱逢锐
林玉娥
徐超
张钦辉
甄西合
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
0
下载PDF
职称材料
3
基于数值模拟电子级多晶硅还原炉流动结构改进研究
梁世民
张胜涛
何银凤
付昊
赵丽丽
《人工晶体学报》
EI
CAS
北大核心
2019
3
下载PDF
职称材料
已选择
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