单硅片单面硅微机械加工的热温差式流量传感器

在（111）硅片上研制了一种单硅片单面硅微机械加工的热温差式流量传感器。利用Comsol仿真软件对敏感结构参数进行优化设计,最大程度降低了传感器的热损耗,提高了传感器灵敏度和响应时间。此外,得益于MEMS微创手术MIS（Micro-openings Inter-etch＆Sealing）工艺技术使得加工后的芯片尺寸仅为0.7 mm×0.7 mm,测试结果表明：传感器灵敏度为107.88m V/（m/s）W（无放大处理）,检测响应时间仅为1.53 ms,综合精度为±4%。

温差式热膜空气质量流量传感器

论述了热膜式空气质量流量计的基本工作原理 ,通过对传感器单元的传热分析设计了一种温差式热膜空气质量流量传感器 ,试验结果表明 。

基于MSP430F2132的温差式原油流量传感器设计

设计了基于热力学吸热定律的温差式流量传感器。通过标定试验确定流量与温差的关系后,现场只需测量加热装置前后的温度,即可由单片机MSP430F2132计算得到流量。利用无线模块,实现数据的短距离无线传输。在保证测量精度的同时,降低了流量传感器的成本。