巨磁阻传感器的温度补偿电路系统设计

巨磁阻传感器具有灵敏度高、易小型化、能耗低、应用前景广泛等特点,但其灵敏度易受温度的影响,在高性能应用中需进行必要的温度补偿。文中设计针对课题组研制的VA100F3自旋阀巨磁阻传感器灵敏度的温度特性,采用CMOS温度传感器来采集温度信号,并通过模数转换器转变为控制信号,进而调节可调增益放大器的增益,以补偿温度变化所导致的GMR传感器灵敏度的变化,巨磁阻传感器温度补偿前后的灵敏度温度系数分别是2 498 ppm/℃和678ppm/℃,达到了较好的补偿效果。系统各电路均基于CSMC 0.5μm Mix-Signal工艺进行设计,可以实现单芯片集成。