温度精度补偿的光纤光栅土压力传感器

提出一种新颖的基于温度补偿的光纤光栅土压力传感器。该传感器结构具有平面膜片特点,带有预拉力的测压光栅两端固定于膜片内表面上,膜片在外界压力作用下产生向内的挠度,拉动测压光栅以实现压力传感。温补光栅单端固定,栅区呈自由状态,使之对外界压力不敏感,可以在测压过程中做到温度精确补偿。测压光栅采取与平面膜片两端粘接的固定方式,可以避免光栅波峰分裂的现象,又消除了力的中间传递,实现压力高精度测量。实验中,传感器在不同温度下所获得的压力值的范围小于0.4%FS;基于0.5 MPa的压力测量范围下,压力精度有0.38%FS。