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SnO_2和SnO_2-Ag薄膜的电学特性
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作者 高晓光 李建平 +2 位作者 王悦 于中尧 王利 《真空科学与技术》 EI CSCD 北大核心 2001年第1期9-13,共5页
用磁控溅射法在集成了铂加热电极的Si基膜片型微结构单元上制备了SnO2 和SnO2 Ag敏感薄膜。用温度调制方式和锯齿波加热方式研究了薄膜的电学特性 ,讨论了银催化剂、湿度及氧分压对SnO2 电学特性的影响。从温度调制方式下测得的电阻 ... 用磁控溅射法在集成了铂加热电极的Si基膜片型微结构单元上制备了SnO2 和SnO2 Ag敏感薄膜。用温度调制方式和锯齿波加热方式研究了薄膜的电学特性 ,讨论了银催化剂、湿度及氧分压对SnO2 电学特性的影响。从温度调制方式下测得的电阻 温度曲线可以区分由热激发过程和由表面反应过程引起的膜电阻变化。这种方法为研究气敏薄膜表面反应过程和气敏响应机理开辟了新的途径。 展开更多
关键词 温度调制方式 电学特性 气敏薄膜 氧化锡薄膜 氧化锡-银薄膜
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