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石英音叉温度频率特性的温度传感器(英文) 被引量:1
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作者 徐军 刘春花 +1 位作者 马静 李欣 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期102-107,共6页
提出了一种基于石英晶体温度频率特性的石英音叉微谐振式温度传感器。通过理论分析的方法对传感器进行设计,并采用有限元仿真对传感器的结构参数进行优化。采用光刻和蚀刻微加工技术制造石英音叉谐振器,对石英音叉温度传感器样机的频率... 提出了一种基于石英晶体温度频率特性的石英音叉微谐振式温度传感器。通过理论分析的方法对传感器进行设计,并采用有限元仿真对传感器的结构参数进行优化。采用光刻和蚀刻微加工技术制造石英音叉谐振器,对石英音叉温度传感器样机的频率温度特性进行实验研究。实验结果表明:石英音叉温度传感器的标准谐振频率为36.545kHz,灵敏度为-1.9Hz/℃,在-20到100℃的温度范围内,其非线性误差小于0.18%,迟滞为0.02%,与理论研究相吻合。该传感器具有高精度、高灵敏度、低功耗和低成本的特点,为高性能温度测量提供较好的解决方案。 展开更多
关键词 石英音叉 温度频率特性 微机械技术 有限元仿真 温度传感器
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声表面波传感器温度频率特性的数值分析 被引量:1
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作者 李莺歌 马连湘 +2 位作者 张娜 袁世魁 杜东兴 《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第S1期159-165,共7页
利用ANSYS软件对声表面波传感器进行温度频率特性的数值模拟研究。分析了在一定压力情况下,基于氮化铝压电薄膜铝叉指换能器的延迟型传感器结构内部的温度有限元分布情况。结果表明外界自然对流对传感器内部的温度场及应力场分布影响很... 利用ANSYS软件对声表面波传感器进行温度频率特性的数值模拟研究。分析了在一定压力情况下,基于氮化铝压电薄膜铝叉指换能器的延迟型传感器结构内部的温度有限元分布情况。结果表明外界自然对流对传感器内部的温度场及应力场分布影响很小。并模拟计算出温度与输出串联谐振频率变化的关系,通过数据拟合得出,SAW传感器的输出谐振频率与环境温度变化呈良好的线性关系,因此可应用于温度的精确测试。 展开更多
关键词 声表面波传感器 数值模拟 热传导 微电子学 温度频率特性
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磁铁矿和磁赤铁矿磁化率的温度和频率特性及其环境磁学意义 被引量:81
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作者 刘青松 邓成龙 潘永信 《第四纪研究》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期955-962,共8页
磁化率随温度和频率的变化特性(F-T)对于研究超顺磁和单畴磁性颗粒的磁学性质非常有效。文章结合饱和磁化强度和矫顽力随温度变化的特性,依据尼尔理论,探讨了磁性颗粒的粒径分布与其(F-T)特性的关系。结果表明,磁化率的最大值对应于其... 磁化率随温度和频率的变化特性(F-T)对于研究超顺磁和单畴磁性颗粒的磁学性质非常有效。文章结合饱和磁化强度和矫顽力随温度变化的特性,依据尼尔理论,探讨了磁性颗粒的粒径分布与其(F-T)特性的关系。结果表明,磁化率的最大值对应于其解阻温度,因此可以用来估算磁性颗粒的平均粒径。随温度变化的频率磁化率曲线可以转化为连续的粒径分布曲线。本方法可以用来模拟自然地质体(例如,火山灰、黄土沉积物)中磁性矿物的粒度分布。 展开更多
关键词 磁化率 岩石磁学 环境磁学 磁化率的温度频率特性
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声表面波温度传感器研究 被引量:3
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作者 胡兰芳 《西南民族学院学报(自然科学版)》 2001年第1期53-56,共4页
论述声表面波温度传感器的结构、原理及设计中的主要问题 .研制了一种声表面波温度传感器 ,测试并分析了它的温度频率特性 .
关键词 温度传感器 温度频率特性 工作原理 声表面波传感器 声表面振荡器 结构 设计
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石英晶体振荡器温频特性与其石英晶片的关系
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作者 卞玉 《中文科技期刊数据库(全文版)工程技术》 2020年第11期230-231,共2页
通过对普通晶体振荡器温度特性的研究,分析晶体振荡器温度频率特性与其的石英晶片的温频之间的关系,对测得的温频数据进行MINITAB分析,发现存在着规律及数学关系。
关键词 晶体振荡器 温度频率特性 MINITAB
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聚酰亚胺覆盖层对LGS声表面波谐振器的影响
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作者 谢小伟 彭斌 +2 位作者 喻恒 李凌 张万里 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期880-883,共4页
该文在硅酸镓镧(LGS)声表面波(SAW)谐振器上沉积了不同厚度的聚酰亚胺薄膜,研究了聚酰亚胺覆盖层对LGS声表面波谐振器的影响。结果表明,SAW谐振器表面沉积了聚酰亚胺薄膜后,器件的谐振频率向低频移动,且随着聚酰亚胺层厚度的增加,谐振... 该文在硅酸镓镧(LGS)声表面波(SAW)谐振器上沉积了不同厚度的聚酰亚胺薄膜,研究了聚酰亚胺覆盖层对LGS声表面波谐振器的影响。结果表明,SAW谐振器表面沉积了聚酰亚胺薄膜后,器件的谐振频率向低频移动,且随着聚酰亚胺层厚度的增加,谐振器的谐振频率下降越大。SAW谐振器的一阶频率温度系数绝对值随着聚酰亚胺层厚度的增加而增大,且温度转变点向低温偏移。研究结果表明,覆盖聚酰亚胺层薄膜可以提高SAW谐振器的温度灵敏度,从而可应用于温度传感器中。 展开更多
关键词 聚酰亚胺 声表面波 机电耦合系数 温度频率特性 硅酸镓镧(LGS)
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