基于MEMS技术的温湿压集成传感器

介绍了一种具有新结构的温湿压集成传感器,分别采用了热敏电阻法测量温度、导热检测法检测湿度、应变电阻法检测压力.这种集成传感器主要是采用硅、氮化硅和铂金为材料制作的.测量温度和湿度的铂金电阻都在悬空氮化硅薄膜上,测量压力的压力敏感膜也是由悬空氮化硅薄膜形成的.这种传感器与一般的集成传感器相比,具有结构简单、工艺简单、精度高的优点.

探空温湿压系统研制

介绍了用于测量大气湿度、温度和气压探空集成传感器系统.利用集成温湿压传感器采集信号,测量采用24位AD精度MCU,借助CC1000将信号调制,MAX2235将信号功率放大无线发送.给出了集成温湿压传感器结构、测量系统的原理、测量系统的硬件框图及关键软件的设计流程.实验结果证明:该系统在满足测量精度的条件下,降低了系统的体积和成本.

数字式多要素集成气象测量模块开发

为了满足气象观测仪器设备微型化和数字化的需要,利用BME280作为气象要素核心传感元件,以及国产单片机STC15W408AS和外围电路,通过硬件的电源、PCB和软件数据质控的优化设计,成功开发具有抗干扰和质控性能的数字式、微型化、多要素集成气象测量模块,在笔状大小结构的体积上实现温度、湿度和气压三个要素的精准测量,形成微型数字化的智能气象传感器;在为期4个月的外场试验过程中,按照气象部门气象观测设备外场考核试验规定的要求和质量评估方法,将外场的被测模块与标准器获取的观测数据的数据获取率、相关性、平均误差、绝对离差、标准差等考核指标进行综合对比分析;评估的结果表明,温度的标准差为0.029,湿度标准差为0.047,气压标准差为0.000479,测量模块的主要性能指标达到了设计要求,长期工作稳定可靠;模块同时具有RS232和USB双串口输出,很容易连接自动气象站,也非常方便在物联网大面积气象监测应用场景中作为众多节点组网使用。