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游离磨料多线切割单晶硅尾部裂片异常的研究
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作者 苏冰 李军营 +2 位作者 安瑞阳 周迎辉 史训达 《材料科学》 CAS 2019年第11期965-970,共6页
在游离磨料多线切割工艺中,钢线切割到单晶与树脂板结合处(尾部)的裂片为常见异常,一直得不到有效的解决,本文分析了裂片位置的受力情况,指出切割浆料粘度高、浆料聚集效应以及钢线的振动为此异常的主要原因并给出了解决该异常的主要措施。
关键词 游离磨料多线切割 硅晶圆加工 尾部裂片
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大直径太阳能硅片高效低损耗线切割技术研究 被引量:4
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作者 韩其锋 吴明明 《机电产品开发与创新》 2012年第6期171-173,共3页
随着太阳能电池对大直径硅片的需求不断增加,大尺寸超薄硅片多线切割技术的发展趋势将日益明显。传统的外圆和内圆切割已经不能满足现有硅片大尺寸、小切缝、高质量和高效率的要求。本文对硅片切割方法、游离磨料多线切割基本原理、线... 随着太阳能电池对大直径硅片的需求不断增加,大尺寸超薄硅片多线切割技术的发展趋势将日益明显。传统的外圆和内圆切割已经不能满足现有硅片大尺寸、小切缝、高质量和高效率的要求。本文对硅片切割方法、游离磨料多线切割基本原理、线切割硅片材料去除机理以及切割工艺因素进行了综述。 展开更多
关键词 太阳能硅片 大直径 游离磨料多线切割 高效
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多线切割中不同钢丝对硅片表面损伤的研究
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作者 苏冰 安瑞阳 +6 位作者 周迎辉 李军营 郑宇 史训达 刘云霞 刘卓 白雪 《材料科学》 CAS 2019年第11期976-983,共8页
使用游离磨料多线切割技术切割的硅片,切割后的损伤层深度是决定后续研磨去除量的关键因素,直钢丝和螺旋钢丝是游离磨料多线切割中广泛使用的两种不同的钢线,本文通过测试粗糙度情况及研磨腐蚀后硅片边缘的线痕残留情况,分析两种不同钢... 使用游离磨料多线切割技术切割的硅片,切割后的损伤层深度是决定后续研磨去除量的关键因素,直钢丝和螺旋钢丝是游离磨料多线切割中广泛使用的两种不同的钢线,本文通过测试粗糙度情况及研磨腐蚀后硅片边缘的线痕残留情况,分析两种不同钢线对硅片损伤层的影响,为后续研磨加工提供理论依据。 展开更多
关键词 游离磨料多线切割 钢线 粗糙度 损伤层深度
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Experimental study of free abrasive wire sawing by using multi-strands wire
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作者 Yao Chunyan Wang Jinsheng +2 位作者 Peng Wei Jin Xin Chen Shijie 《Engineering Sciences》 EI 2013年第6期80-84,共5页
Grains in the slurry can be brought into cutting zone by steel wire with a certain speed to achieve the purpose of removing the workpiece material in the free abrasive wire sawing machining. Because its own of multi- ... Grains in the slurry can be brought into cutting zone by steel wire with a certain speed to achieve the purpose of removing the workpiece material in the free abrasive wire sawing machining. Because its own of multi- strands characteristics, we use it to replace the steel wire to do slicing experiment. In this paper, multi-strands wire is made by seven metal wires and has many grooves on its surface. Compared with steel wire, it can carry more grains into cutting zone which is conducive to improving the slicing efficiency. We do some comparative slic- ing experimcnts by applying multi-strands wire (~b0.25 mm) and steel wire (~b0.25 mm) to cut optical glass (K9). The results show that slicing efficiency and the surface roughness of the workpiece sliced by using multi-strands wire are better than that by using steel wire. but the kerf width of the former is wider than that of the latter in the same experimental conditions. 展开更多
关键词 wire saw free abrasive machining slicing efficiency
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