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单晶蓝宝石基片抛光工艺研究进展
被引量:
3
1
作者
陈刚
肖强
《工具技术》
2018年第3期3-9,共7页
对目前抛光单晶蓝宝石基片的工艺方法,如游离磨料磨削、金刚石砂轮磨削、在线电解修整磨削(ELID)、化学机械抛光(CMP)、固结软磨料抛光、磁流变抛光(MRF)、超声振动辅助磨削的加工原理、方法和特点进行综述。分析了各方法的优势和不足...
对目前抛光单晶蓝宝石基片的工艺方法,如游离磨料磨削、金刚石砂轮磨削、在线电解修整磨削(ELID)、化学机械抛光(CMP)、固结软磨料抛光、磁流变抛光(MRF)、超声振动辅助磨削的加工原理、方法和特点进行综述。分析了各方法的优势和不足以及最新研究成果存在的关键问题。其中游离磨料磨削、在线电解修整磨削、金刚石砂轮磨削的材料去除速率较高,化学机械抛光是抛光大面积基片的唯一方法,磁流变抛光后的基片表面不存在亚表面损伤。根据单晶蓝宝石基片的应用需求和目前抛光方法的不足,对后续研究的方向进行了预测。
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关键词
单晶蓝宝石
游离磨料磨削
化学机械抛光
磁流变抛光
ELID
磨削
超声振动辅助
磨削
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职称材料
题名
单晶蓝宝石基片抛光工艺研究进展
被引量:
3
1
作者
陈刚
肖强
机构
西安工业大学
出处
《工具技术》
2018年第3期3-9,共7页
基金
陕西省自然科学基金(2014JM7257)
陕西省教育厅重点实验室项目(16JS046)
+1 种基金
陕西省教育厅重点实验室访问学者项目(14JS029)
陕西省特种加工重点实验室开放基金(ST-11006)
文摘
对目前抛光单晶蓝宝石基片的工艺方法,如游离磨料磨削、金刚石砂轮磨削、在线电解修整磨削(ELID)、化学机械抛光(CMP)、固结软磨料抛光、磁流变抛光(MRF)、超声振动辅助磨削的加工原理、方法和特点进行综述。分析了各方法的优势和不足以及最新研究成果存在的关键问题。其中游离磨料磨削、在线电解修整磨削、金刚石砂轮磨削的材料去除速率较高,化学机械抛光是抛光大面积基片的唯一方法,磁流变抛光后的基片表面不存在亚表面损伤。根据单晶蓝宝石基片的应用需求和目前抛光方法的不足,对后续研究的方向进行了预测。
关键词
单晶蓝宝石
游离磨料磨削
化学机械抛光
磁流变抛光
ELID
磨削
超声振动辅助
磨削
Keywords
single crystal sapphire
free abrasive grinding
chemical mechanical polishing(CMP)
magneto-rheological polishing (MRF)
on-line electrolytic dressing grinding(ELID)
ultrasonic vibration assisted grinding
分类号
TG580.6 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
TH162 [机械工程—机械制造及自动化]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
单晶蓝宝石基片抛光工艺研究进展
陈刚
肖强
《工具技术》
2018
3
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