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液相沉积法的应用及发展
被引量:
6
1
作者
余萍
陈善华
《广东微量元素科学》
CAS
2006年第3期12-16,共5页
介绍了一种新的湿化学成膜法—液相沉积法,对液相沉积法制备薄膜的原理、工艺流程及最新进展进行了详细阐述,并概述了其应用前景。
关键词
液相沉积
氧化物
薄膜
湿化学成膜法
下载PDF
职称材料
题名
液相沉积法的应用及发展
被引量:
6
1
作者
余萍
陈善华
机构
成都理工大学材料与化学化工学院
出处
《广东微量元素科学》
CAS
2006年第3期12-16,共5页
文摘
介绍了一种新的湿化学成膜法—液相沉积法,对液相沉积法制备薄膜的原理、工艺流程及最新进展进行了详细阐述,并概述了其应用前景。
关键词
液相沉积
氧化物
薄膜
湿化学成膜法
Keywords
liquid phase deposition
thin films
wet chemical preparing method ot thin film
分类号
TN451 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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液相沉积法的应用及发展
余萍
陈善华
《广东微量元素科学》
CAS
2006
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