一种SF_6气体湿度传感器检验系统

设计了一种SF6气体湿度密度传感器检验系统,此系统利用自适应饱和蒸汽发生单元生成50℃饱和蒸汽,高精度气缸抽取定量饱和蒸汽与干燥气体混合,配制出不同压力不同湿度的气体;基于传感器的检验数据,提出了此传感器的检验模型。试验结果表明,该系统可配制出不同压力不同湿度的气体,提出的检验模型满足SF6气体湿度密度传感器检验需求。