用于注入层用途的湿法显影有机抗反射涂层(英文)

底部抗反射涂层(BARCs)和光刻胶已被广泛地用于半导体制造中的光刻加工工艺中。BARCs在光刻中的主要好处就是聚焦?曝光宽容度的改善,提高了关键尺寸的控制,消除了反射凹口,防止远紫外抗蚀剂由基底毒化。过去,BARCs主要被用于关键图层,例如栅和接触孔图层。但是随着集成电路特征尺寸的不断缩小,BARCs在注入层中的应用中由于基片表面形态引起的反射缺口和关键尺寸变化容差也变得更小,从而使BARCs的使用变得更为迫切。我们已成功开发了专门为注入层用途的湿法显影抗反射涂层。传统的干法刻蚀不适合用于注入层,因为它的工艺复杂而且在刻蚀过程中可能导致基片损坏。评述了产生注入光刻图层的工艺并讨论了湿法显影式抗反射涂层的设计标准和要求,同时还将讨论用于注入层光刻的湿法显影抗反射图层及其工艺的挑战。

湿法中性显影黑线晒图纸的研制

湿法中笥显影黑线图纸是单组份重氮晒图纸，是晒图纸产品系列中的一类品种，因为显影时不用氨气，无刺激性，不污染环境，故受到用户的欢迎。它的特点是：能用中性或微酸性的显影液显影，显影速度很快；能形成黑色的线条；感光速度也较快，能适应一般的冷光源的湿法晒图机；显影时形成的线条不扩散，不出现羽毛化的现象。

静电复印机的显影机构及显影原理

静电复印机在完成了充电,暴光后,在感光体表面形成了一个与原稿一样的,是由电荷组成的图象,这个图象称为静电潜象,将这个潜象变成可见图象时,需经过一个过程,完成这个过程的机构,叫做显影机构,由于机器的型号不同,显影机构也不同,但基本上大同小异,下面就常用的几种显影机构及显影方法做一介绍:

复印机在档案工作中的作用

随着档案事业的发展,复印机在各级档案部门中的应用越来越广泛。复印机的出现,确实是给档案部门带来了许多方便,但从某种意义上讲也不是十全十美的。 复印机具有快速、准确的复制作用,应用于档案利用工作可以节省大量的手抄工作。

中小型网印企业如何选购印前出片打样系统

随着时代的发展与变迁,简单的图文输出已经不能满足网印企业提高生产水平与技能、顺应消费者对印刷品的高质量要求,不能达到产业升级及供给侧改革的发展需求。以前网印企业制版都使用激光照排机出片,但由于采用的传统化学湿法显影,其化学药剂显影定影后的废水属重危污染源。

温度时间控制器

Model TTC-H5是一款具有五个温度范围的时间控制器，可用于所有的刻蚀、去胶和湿法显影工艺。每个单独的范围包括工艺温度设置点、PID参数、EEPROM存储器，可以在没有电源的情况下将数据保持10年，以及高、低温警报设置点。

重氮材料的显影方法

本文对重氮材料的双组分材料的干法显影、湿法显影、加热显影、电解显影和其他显影方法作了介绍,同时也介绍了单组分材料显影和其他一些显影方法。