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非离子型Gemini表面活性剂研究进展及其在半导体湿电子材料中的应用
被引量:
1
1
作者
倪芸岚
邢攸美
+5 位作者
胡涛
尹云舰
李潇逸
张之钧
王小栋
余红刚
《天津化工》
CAS
2021年第5期87-90,共4页
非离子型双子(Gemini)表面活性剂具备优异的表面活性和独特的分子结构,且不会引入金属离子杂质,在集成电路领域具有巨大的应用潜力。通过对Gemini非离子表面活性剂的部分基团的进行改性,能够显著提高其各项性能,应用于湿电子材料后能够...
非离子型双子(Gemini)表面活性剂具备优异的表面活性和独特的分子结构,且不会引入金属离子杂质,在集成电路领域具有巨大的应用潜力。通过对Gemini非离子表面活性剂的部分基团的进行改性,能够显著提高其各项性能,应用于湿电子材料后能够匹配集成电路领域的高精细化发展要求。
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关键词
GEMINI表面活性剂
非离子型
基团改性
研究进展
集成电路
湿电子材料
下载PDF
职称材料
题名
非离子型Gemini表面活性剂研究进展及其在半导体湿电子材料中的应用
被引量:
1
1
作者
倪芸岚
邢攸美
胡涛
尹云舰
李潇逸
张之钧
王小栋
余红刚
机构
杭州格林达电子材料股份有限公司
出处
《天津化工》
CAS
2021年第5期87-90,共4页
基金
浙江省科技计划项目(2019C01087)。
文摘
非离子型双子(Gemini)表面活性剂具备优异的表面活性和独特的分子结构,且不会引入金属离子杂质,在集成电路领域具有巨大的应用潜力。通过对Gemini非离子表面活性剂的部分基团的进行改性,能够显著提高其各项性能,应用于湿电子材料后能够匹配集成电路领域的高精细化发展要求。
关键词
GEMINI表面活性剂
非离子型
基团改性
研究进展
集成电路
湿电子材料
Keywords
gemini surfactant
nonionic
group modification
research progress
integrated circuit
wet chemicals
分类号
TQ432.2 [化学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
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被引量
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1
非离子型Gemini表面活性剂研究进展及其在半导体湿电子材料中的应用
倪芸岚
邢攸美
胡涛
尹云舰
李潇逸
张之钧
王小栋
余红刚
《天津化工》
CAS
2021
1
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