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离子溅射仪油雾污染对溅射基底的影响
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作者 彭波 袁秋 孟晓敏 《真空》 CAS 2023年第4期13-17,共5页
利用光学显微镜、场发射扫描电子显微镜、原子力显微镜以及能谱仪研究了油雾污染对溅射基底(硅片、称量纸、铜箔和载玻片)微观形貌和元素含量的影响。结果表明:溅射沉积不同时间后,硅片基底上均出现球状颗粒,且颗粒随着溅射时间延长而... 利用光学显微镜、场发射扫描电子显微镜、原子力显微镜以及能谱仪研究了油雾污染对溅射基底(硅片、称量纸、铜箔和载玻片)微观形貌和元素含量的影响。结果表明:溅射沉积不同时间后,硅片基底上均出现球状颗粒,且颗粒随着溅射时间延长而聚集或长大;溅射前硅片的碳含量为4.55%,经溅射沉积50s后其表面碳含量约为31.55%;铜箔和称量纸溅射沉积50s后的光学形貌与溅射前差异不大,未出现球状颗粒;载玻片溅射沉积50s的光学形貌与硅片的接近,表面随机分布着球状颗粒。硅基类基底对油雾污染极其敏感,表现为经过溅射处理后样品表面分布着球状颗粒,且碳元素质量分数约为溅射前的7~8倍。 展开更多
关键词 离子溅射仪 油雾分子 基底 球状颗粒
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用新型双对靶溅射仪制备的Fe/Ti多层膜的结构特征
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作者 刘明升 姜恩永 +1 位作者 刘裕光 王忠杰 《真空科学与技术》 CSCD 1994年第6期440-445,共6页
在原FTS-Ⅰ型对向靶溅射基础上,设计制作了DFTS-Ⅱ型双对靶溅射仪,它具有低温、高速、成分偏离小和连续均匀溅射的特性,能够同时或交替溅射不同材料。使用DFTS-Ⅱ制备的Fe/Ti多层膜具有良好的周期调制结构,层内结构是以Fe(110)... 在原FTS-Ⅰ型对向靶溅射基础上,设计制作了DFTS-Ⅱ型双对靶溅射仪,它具有低温、高速、成分偏离小和连续均匀溅射的特性,能够同时或交替溅射不同材料。使用DFTS-Ⅱ制备的Fe/Ti多层膜具有良好的周期调制结构,层内结构是以Fe(110)bcc相为主的Febcc多晶和Ti(0002)hcp取向生长的,但在Fe/Ti多层膜Fe/Ti的界面存在扩散驰豫现象。 展开更多
关键词 双对靶溅射仪 溅射仪 磁性多层膜 调制结构
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DS—2型微型直流溅射仪
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作者 任巍 张志峰 《薄膜科学与技术》 1992年第3期84-84,共1页
关键词 直流 溅射仪
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扫描电镜非导电样品的等离子溅射镀膜方法 被引量:7
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作者 郑东 《中国现代教育装备》 2007年第10期19-20,共2页
在扫描电镜非导电或导电性差的样品制备过程中,通常使用等离子溅射镀膜方法对样品表面进行导电处理。本文主要叙述等离子溅射镀膜的原理与方法,并简单介绍了磁控管溅射仪和锇等离子镀膜仪等。
关键词 扫描电镜 非导电样品 等离子溅射镀膜 磁控管溅射仪 锇等离子镀膜
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BP数字识别自动监控系统 被引量:5
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作者 张红 刘磊 孙彦峰 《小型微型计算机系统》 CSCD 北大核心 2009年第3期503-506,共4页
设计并实现了磁控溅射仪自动监控系统,对实验过程进行自动监控并记录实验数据,由服务器主控程序监控实验,存储并识别数字数据,识别过程是调用Matlab语言编写的识别系统生成的动态链接库,用BP神经网络训练神经元来进行识别,可以由客户端... 设计并实现了磁控溅射仪自动监控系统,对实验过程进行自动监控并记录实验数据,由服务器主控程序监控实验,存储并识别数字数据,识别过程是调用Matlab语言编写的识别系统生成的动态链接库,用BP神经网络训练神经元来进行识别,可以由客户端主控程序调用并查看实验数据曲线,实现实时的远程监控,解决了磁控溅射仪没有数据输出接口不方便记录实验数据的困难及实验过程中高辐射对人体危害的问题.整个系统识别效率高,速度快,准确性高,自动监控实验过程,具有很高的实用价值和应用前景. 展开更多
关键词 磁控溅射仪 神经网络 数字识别 自动监控系统
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梨果飘香
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作者 路菊 位全芳 《电子显微学报》 CAS CSCD 2014年第5期428-428,共1页
样品:鲑鱼精子表面形态 电镜型号:日立S-3400N 制作方法:鲑鱼精子样品经常规梯度酒精脱水、叔丁醇干燥,后离子溅射仪镀膜,扫描电镜观察其形态。 作品说明:精子的头部呈椭圆型,就像一个个成熟的梨子,黄灿灿、绿油油的,非常... 样品:鲑鱼精子表面形态 电镜型号:日立S-3400N 制作方法:鲑鱼精子样品经常规梯度酒精脱水、叔丁醇干燥,后离子溅射仪镀膜,扫描电镜观察其形态。 作品说明:精子的头部呈椭圆型,就像一个个成熟的梨子,黄灿灿、绿油油的,非常形象的展现了梨子的外貌特征;精子的尾巴就像梨树的枝桠,纵横交错,一派丰收的繁荣景象。 展开更多
关键词 扫描电镜观察 梨果 表面形态 酒精脱水 精子 叔丁醇 溅射仪 椭圆型
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犯罪现场被破坏客体和嫌疑工具上微量附着物提取、包装方法的实验研究
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作者 张雷 陶旭 张海鹰 《刑事技术》 1985年第5期10-15,共6页
本文通过模拟实验,提出了犯罪现场被破坏客体和嫌疑工具上微量附着物的提取、包装方法,以供广大刑侦工作者参考借鉴。
关键词 犯罪现场 包装方法 双面胶纸 检验鉴定 火棉胶 同一认定 离子溅射仪 能谱 案件性质 载物
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应用扫描电镜的低加速电压观察AC纸复型的线条痕迹
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《刑事技术》 1985年第4期4-5,共2页
前言公安部第二研究所电镜室于1985年1月提出了扫描电镜在低加速电压下获得高质量图像的方法,为了扩大在刑事技术上的应用。
关键词 AC 加速电压 复型 扫描电镜 镜室 刑事技术 双面胶纸 刑事科学技术 离子溅射仪 二次电子像
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鉴定微量物证揭露犯罪一例
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《刑事技术》 1987年第2期23-,19,共2页
目前犯罪分子作案手段越发智能化,使我们获取犯罪的物证越来越困难,因此提取和鉴定微量物证以证实犯罪,就显得十分重要了。我们曾在其它单位的协作下,对提取的微量物证进行鉴定,证实了一起重大电击抢劫犯罪。1986年1月15日,解放军某部... 目前犯罪分子作案手段越发智能化,使我们获取犯罪的物证越来越困难,因此提取和鉴定微量物证以证实犯罪,就显得十分重要了。我们曾在其它单位的协作下,对提取的微量物证进行鉴定,证实了一起重大电击抢劫犯罪。1986年1月15日,解放军某部干部张××(男、26岁)途经我市,住进某旅馆48号房间,室内同住一名自称扎西柱的男青年。当晚ll时二人同时睡觉,16日凌晨3时许。 展开更多
关键词 微量物证 犯罪分子 抢劫犯罪 作案手段 检材 犯罪事实 离子溅射仪 技术鉴定 表皮剥脱 防污染
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