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浅谈磁控溅射镀膜工艺及其在我国的发展现状 被引量:1
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作者 何文 《居业》 1994年第6期9-12,共4页
浅谈磁控溅射镀膜工艺及其在我国的发展现状何文(蚌埠玻璃工业设计研究院)一、前言镀膜玻璃是一种在玻璃表面上镀一层或多层金属或金属氧化物薄膜,使其具有一种或多种功能的玻璃深加工产品。自七十年代开始,在世界发达的国家和地区... 浅谈磁控溅射镀膜工艺及其在我国的发展现状何文(蚌埠玻璃工业设计研究院)一、前言镀膜玻璃是一种在玻璃表面上镀一层或多层金属或金属氧化物薄膜,使其具有一种或多种功能的玻璃深加工产品。自七十年代开始,在世界发达的国家和地区,传统的单一采光材料─—普通建筑玻... 展开更多
关键词 镀膜玻璃 镀膜工艺 溅射室 设备和技术 水平钢化玻璃生产线 磁控 发展现状 镀膜设备 化学气相沉积法 玻璃表面
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溅射装置
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作者 一弓 《等离子体应用技术快报》 1997年第11期11-11,共1页
关键词 溅射装置 溅射 溅射室
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