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ITO膜溅射成膜装置
1
作者
一弓
《等离子体应用技术快报》
2000年第9期15-16,共2页
关键词
氧化铟锡膜
溅射成膜装置
薄膜
下载PDF
职称材料
题名
ITO膜溅射成膜装置
1
作者
一弓
出处
《等离子体应用技术快报》
2000年第9期15-16,共2页
关键词
氧化铟锡膜
溅射成膜装置
薄膜
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
TB43 [一般工业技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
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1
ITO膜溅射成膜装置
一弓
《等离子体应用技术快报》
2000
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职称材料
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