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共溅射与多层膜溅射制备FePt:Ag颗粒膜的微观结构比较(英文)
被引量:
2
1
作者
程晓敏
李佐宜
王建平
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第12期1879-1881,共3页
采用共溅射和多层膜溅射两种不同的溅射方式制备FePt:Ag颗粒膜。MFM和TEM微观结构观测的结果表明:与多层膜溅射制备的FePt:Ag颗粒膜相比,共溅射制备的颗粒膜具有更小的磁畴尺寸和晶粒尺寸,并且其磁畴和晶粒的分布更加均匀。这种微观...
采用共溅射和多层膜溅射两种不同的溅射方式制备FePt:Ag颗粒膜。MFM和TEM微观结构观测的结果表明:与多层膜溅射制备的FePt:Ag颗粒膜相比,共溅射制备的颗粒膜具有更小的磁畴尺寸和晶粒尺寸,并且其磁畴和晶粒的分布更加均匀。这种微观结构上的区别可解释为共溅射制备的颗粒膜中Ag原子的分布更加具有随机性。对薄膜内部缺陷的研究进一步证实了该解释。
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关键词
FePt:Ag颗粒
膜
微观结构
共
溅射
多
层
膜
溅射
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职称材料
铀表面非平衡磁控溅射离子镀Ti基薄膜的组织结构与腐蚀性能
被引量:
5
2
作者
朱生发
刘天伟
+4 位作者
吴艳萍
江帆
黄河
唐凯
魏强
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第3期240-243,共4页
金属铀的化学性质十分活泼,极易发生氧化腐蚀。本文采用磁过滤多弧离子镀在金属铀表面制备Ti过渡层,然后采用非平衡磁控溅射离子镀技术制备了Ti、TiN单层膜及Ti/TiN多层薄膜,以期改善基体的抗腐蚀性能。采用X射线衍射、极化曲线、盐雾...
金属铀的化学性质十分活泼,极易发生氧化腐蚀。本文采用磁过滤多弧离子镀在金属铀表面制备Ti过渡层,然后采用非平衡磁控溅射离子镀技术制备了Ti、TiN单层膜及Ti/TiN多层薄膜,以期改善基体的抗腐蚀性能。采用X射线衍射、极化曲线、盐雾腐蚀试验对镀层的结构、表面形貌、抗腐蚀性能进行了分析。结果表明,采用磁控溅射在金属铀表面制备一层Ti/TiN多层膜后,多层膜界面较清晰,大量的界面可终止柱状晶的生长,细化晶粒,提高镀层的致密性,有效地改善了基体的抗腐蚀性能。
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关键词
贫铀
非平衡磁控
溅射
多
层
膜
腐蚀性能
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职称材料
背环式磁控溅射靶
被引量:
5
3
作者
王怡德
《真空》
CAS
北大核心
1999年第2期27-30,共4页
本文报导了磁控溅射靶设计的一种新思路,这种长条矩形靶是垂直安装并双面溅射的靶,溅射轨道按“背环”方式来布局的一种新靶型,称为背环靶。背环靶最主要的优点是:与同样靶长的其他靶型相比,溅射有效均匀区最长,因而膜层均匀性和...
本文报导了磁控溅射靶设计的一种新思路,这种长条矩形靶是垂直安装并双面溅射的靶,溅射轨道按“背环”方式来布局的一种新靶型,称为背环靶。背环靶最主要的优点是:与同样靶长的其他靶型相比,溅射有效均匀区最长,因而膜层均匀性和重复性较好。这种靶型,或在该靶型结构思路上变换出来的新靶,在其他机型中应用,也有若干明显的优点。
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关键词
背环靶
溅射膜层
均匀性
重复性
磁控
溅射
薄
膜
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职称材料
PVD轴瓦溅射工艺研究
被引量:
3
4
作者
吴文俊
《舰船科学技术》
2010年第8期182-184,189,共4页
研究目的是为进口柴油机的国产化提供磁控溅射的PVD轴瓦。PVD(Physical Vapor Deposition物理气相沉积)轴瓦属于第四代轴瓦,其特点是用磁控溅射的方法在轴瓦基材的内表面上生成镍栅层(阻挡层)和具有优异性能的铝合金减摩层(跑合层、滑动...
研究目的是为进口柴油机的国产化提供磁控溅射的PVD轴瓦。PVD(Physical Vapor Deposition物理气相沉积)轴瓦属于第四代轴瓦,其特点是用磁控溅射的方法在轴瓦基材的内表面上生成镍栅层(阻挡层)和具有优异性能的铝合金减摩层(跑合层、滑动层),这是研制PVD轴瓦的重点和难点。通过反复试验,得出了影响溅射膜层附着强度、沉积速度、维氏硬度、减摩层断面微观形貌等性能的有关参数的优化值并确定了工艺流程。铝合金减摩层的组分含量、附着强度、维氏硬度等性能达到或优于图纸要求。铝合金减摩层断面微观形貌及软锡(Sn)相颗粒直径和分布状态等性能达到外同类产品或文献报道的水平。
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关键词
PVD轴瓦
磁控
溅射
偏压
溅射膜层
栅
层
减摩
层
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职称材料
题名
共溅射与多层膜溅射制备FePt:Ag颗粒膜的微观结构比较(英文)
被引量:
2
1
作者
程晓敏
李佐宜
王建平
机构
华中科技大学
新加坡数据存储研究所
出处
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第12期1879-1881,共3页
文摘
采用共溅射和多层膜溅射两种不同的溅射方式制备FePt:Ag颗粒膜。MFM和TEM微观结构观测的结果表明:与多层膜溅射制备的FePt:Ag颗粒膜相比,共溅射制备的颗粒膜具有更小的磁畴尺寸和晶粒尺寸,并且其磁畴和晶粒的分布更加均匀。这种微观结构上的区别可解释为共溅射制备的颗粒膜中Ag原子的分布更加具有随机性。对薄膜内部缺陷的研究进一步证实了该解释。
关键词
FePt:Ag颗粒
膜
微观结构
共
溅射
多
层
膜
溅射
Keywords
FePt:Ag granular films
microstructure
co-sputtering
multilayer-sputtering
分类号
TB43 [一般工业技术]
下载PDF
职称材料
题名
铀表面非平衡磁控溅射离子镀Ti基薄膜的组织结构与腐蚀性能
被引量:
5
2
作者
朱生发
刘天伟
吴艳萍
江帆
黄河
唐凯
魏强
机构
中国工程物理研究院
表面物理与化学重点实验室
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第3期240-243,共4页
基金
中国工程物理研究发展基金项目(2009B0203019)
文摘
金属铀的化学性质十分活泼,极易发生氧化腐蚀。本文采用磁过滤多弧离子镀在金属铀表面制备Ti过渡层,然后采用非平衡磁控溅射离子镀技术制备了Ti、TiN单层膜及Ti/TiN多层薄膜,以期改善基体的抗腐蚀性能。采用X射线衍射、极化曲线、盐雾腐蚀试验对镀层的结构、表面形貌、抗腐蚀性能进行了分析。结果表明,采用磁控溅射在金属铀表面制备一层Ti/TiN多层膜后,多层膜界面较清晰,大量的界面可终止柱状晶的生长,细化晶粒,提高镀层的致密性,有效地改善了基体的抗腐蚀性能。
关键词
贫铀
非平衡磁控
溅射
多
层
膜
腐蚀性能
Keywords
Delepted uranium, Unbalanced magnetron sputtering, Multilayer film, Corrosion resistance
分类号
TG174.44 [金属学及工艺—金属表面处理]
下载PDF
职称材料
题名
背环式磁控溅射靶
被引量:
5
3
作者
王怡德
机构
北京仪器厂
出处
《真空》
CAS
北大核心
1999年第2期27-30,共4页
文摘
本文报导了磁控溅射靶设计的一种新思路,这种长条矩形靶是垂直安装并双面溅射的靶,溅射轨道按“背环”方式来布局的一种新靶型,称为背环靶。背环靶最主要的优点是:与同样靶长的其他靶型相比,溅射有效均匀区最长,因而膜层均匀性和重复性较好。这种靶型,或在该靶型结构思路上变换出来的新靶,在其他机型中应用,也有若干明显的优点。
关键词
背环靶
溅射膜层
均匀性
重复性
磁控
溅射
薄
膜
分类号
TB43 [一般工业技术]
TG174.442 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
PVD轴瓦溅射工艺研究
被引量:
3
4
作者
吴文俊
机构
重庆跃进机械厂有限公司
出处
《舰船科学技术》
2010年第8期182-184,189,共4页
文摘
研究目的是为进口柴油机的国产化提供磁控溅射的PVD轴瓦。PVD(Physical Vapor Deposition物理气相沉积)轴瓦属于第四代轴瓦,其特点是用磁控溅射的方法在轴瓦基材的内表面上生成镍栅层(阻挡层)和具有优异性能的铝合金减摩层(跑合层、滑动层),这是研制PVD轴瓦的重点和难点。通过反复试验,得出了影响溅射膜层附着强度、沉积速度、维氏硬度、减摩层断面微观形貌等性能的有关参数的优化值并确定了工艺流程。铝合金减摩层的组分含量、附着强度、维氏硬度等性能达到或优于图纸要求。铝合金减摩层断面微观形貌及软锡(Sn)相颗粒直径和分布状态等性能达到外同类产品或文献报道的水平。
关键词
PVD轴瓦
磁控
溅射
偏压
溅射膜层
栅
层
减摩
层
Keywords
PVD half bearing
magnetron sputter
bias
sputtering coating
barrier layer
antifriction layer
分类号
U664.121 [交通运输工程—船舶及航道工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
共溅射与多层膜溅射制备FePt:Ag颗粒膜的微观结构比较(英文)
程晓敏
李佐宜
王建平
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
2
下载PDF
职称材料
2
铀表面非平衡磁控溅射离子镀Ti基薄膜的组织结构与腐蚀性能
朱生发
刘天伟
吴艳萍
江帆
黄河
唐凯
魏强
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
5
下载PDF
职称材料
3
背环式磁控溅射靶
王怡德
《真空》
CAS
北大核心
1999
5
下载PDF
职称材料
4
PVD轴瓦溅射工艺研究
吴文俊
《舰船科学技术》
2010
3
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
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