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辅助溶剂对PMMA微流控芯片模内键合的影响
被引量:
12
1
作者
徐征
王继章
+2 位作者
杨铎
刘冲
王立鼎
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第2期321-328,共8页
为了提高聚合物微流控芯片的键合效率,以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微流控芯片为对象,以微型注塑机为平台,研究了聚合物模内键合方法。利用注塑机提供的合模力作为键合力,利用模温机提供键合温度,选择异丙醇作为辅助溶剂,借助溶剂溶解特性...
为了提高聚合物微流控芯片的键合效率,以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微流控芯片为对象,以微型注塑机为平台,研究了聚合物模内键合方法。利用注塑机提供的合模力作为键合力,利用模温机提供键合温度,选择异丙醇作为辅助溶剂,借助溶剂溶解特性来降低模内键合中的键合温度和压力。在30~70℃,用测量显微镜和台阶仪测试分析了不同键合温度条件下,辅助溶剂对芯片的表面形貌和微通道结构的影响;利用辅助溶剂进行模内键合实验,用电子万能实验机测试了芯片的键合强度,对模内键合工艺参数进行了优化。结果表明:异丙醇对键合质量的影响与键合温度、键合时间有关,在较高温度下会使芯片产生皲裂、微沟槽变形和堵塞;在键合温度为35℃,键合时间为5min时,芯片的表面质量和微沟槽形貌较完整,键合强度不小于2.64MPa。
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关键词
模内
键
合
聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)
微流控芯片
异丙醇
微注塑
溶剂辅助键合
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职称材料
离心芯片上虹吸阀的设计与制备
被引量:
1
2
作者
杨儒元
苑伟政
何洋
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2014年第3期156-160,共5页
实现了一种离心式微流控芯片上虹吸阀的快速设计及制备方法。通过分析力学基本原理,设计了一种离心式微流控芯片上虹吸阀结构。采用数控精雕在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)上直接加工出凹形结构,再通过溶剂辅助键合得到封闭的微流控芯片。相...
实现了一种离心式微流控芯片上虹吸阀的快速设计及制备方法。通过分析力学基本原理,设计了一种离心式微流控芯片上虹吸阀结构。采用数控精雕在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)上直接加工出凹形结构,再通过溶剂辅助键合得到封闭的微流控芯片。相对于传统的MEMS工艺,这种方法大大节省了加工时间和成本。同时相对于大多数聚合物材料的疏水特性,PMMA的亲水性可以避免材料表面亲水改性问题,简化了虹吸阀制备的工艺流程。该虹吸阀性能稳定,结构简单,能实现片上流体控制,为更加复杂的芯片提供了一种可靠的阀及一种快速制备方法。
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关键词
离心式微流控
虹吸阀
聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)
溶剂辅助键合
数控加工
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职称材料
题名
辅助溶剂对PMMA微流控芯片模内键合的影响
被引量:
12
1
作者
徐征
王继章
杨铎
刘冲
王立鼎
机构
大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第2期321-328,共8页
基金
国家973重点基础研究发展计划资助项目(No.2007CB714502)
国家自然科学基金资助项目(No.91023046
+1 种基金
No.20890024)
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(No.DUT11SM11)
文摘
为了提高聚合物微流控芯片的键合效率,以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微流控芯片为对象,以微型注塑机为平台,研究了聚合物模内键合方法。利用注塑机提供的合模力作为键合力,利用模温机提供键合温度,选择异丙醇作为辅助溶剂,借助溶剂溶解特性来降低模内键合中的键合温度和压力。在30~70℃,用测量显微镜和台阶仪测试分析了不同键合温度条件下,辅助溶剂对芯片的表面形貌和微通道结构的影响;利用辅助溶剂进行模内键合实验,用电子万能实验机测试了芯片的键合强度,对模内键合工艺参数进行了优化。结果表明:异丙醇对键合质量的影响与键合温度、键合时间有关,在较高温度下会使芯片产生皲裂、微沟槽变形和堵塞;在键合温度为35℃,键合时间为5min时,芯片的表面质量和微沟槽形貌较完整,键合强度不小于2.64MPa。
关键词
模内
键
合
聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)
微流控芯片
异丙醇
微注塑
溶剂辅助键合
Keywords
in-mold bonding
Polymethyl Methacrylate(PMMA)
microfluidic chip
isopropanol
micro injection
solvant assistant bonding
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
离心芯片上虹吸阀的设计与制备
被引量:
1
2
作者
杨儒元
苑伟政
何洋
机构
西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2014年第3期156-160,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(51005187)
航空科学基金资助项目(2011ZE53055)
西北工业大学基础研究基金资助项目(JC201102050)
文摘
实现了一种离心式微流控芯片上虹吸阀的快速设计及制备方法。通过分析力学基本原理,设计了一种离心式微流控芯片上虹吸阀结构。采用数控精雕在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)上直接加工出凹形结构,再通过溶剂辅助键合得到封闭的微流控芯片。相对于传统的MEMS工艺,这种方法大大节省了加工时间和成本。同时相对于大多数聚合物材料的疏水特性,PMMA的亲水性可以避免材料表面亲水改性问题,简化了虹吸阀制备的工艺流程。该虹吸阀性能稳定,结构简单,能实现片上流体控制,为更加复杂的芯片提供了一种可靠的阀及一种快速制备方法。
关键词
离心式微流控
虹吸阀
聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)
溶剂辅助键合
数控加工
Keywords
centrifugal microfluidic
siphon valve
polymethyl methacrylate (PMMA)
solvent assisted bonding
numerical control machining
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
辅助溶剂对PMMA微流控芯片模内键合的影响
徐征
王继章
杨铎
刘冲
王立鼎
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
12
下载PDF
职称材料
2
离心芯片上虹吸阀的设计与制备
杨儒元
苑伟政
何洋
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2014
1
下载PDF
职称材料
已选择
0
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参考文献
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统计分析
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