取向铁电薄膜制备中主要工艺影响因素的研究进展

取向铁电薄膜的取向度取决于其制造时的几个主要工艺影响因素,如基片特性、溶液 先驱体化学、热处理等。在取向铁电薄膜的研究中已经对这些工艺因素有了比较明确的认识, 作者概述了近年来这些工艺因素的研究进展。