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基于MISFET结构的Pt-NiO混合敏感膜溶解二氧化碳传感器的研究 被引量：3
1
作者 岳钊 牛文成 +2 位作者 谢林宏 权伍明 罗翀 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期1203-1206,共4页
应用碳糊成膜方法,设计一种基于MISFET结构Pt-NiO混合敏感膜的新型溶解二氧化碳传感器.文中对器件进行了测量,给出了不同工作点下器件输出电压变化量△Vrs随着溶解二氧化碳浓度变化的响应曲线.实验结果表明,室温下基于MISFET结构的Pt-Ni... 应用碳糊成膜方法,设计一种基于MISFET结构Pt-NiO混合敏感膜的新型溶解二氧化碳传感器.文中对器件进行了测量,给出了不同工作点下器件输出电压变化量△Vrs随着溶解二氧化碳浓度变化的响应曲线.实验结果表明,室温下基于MISFET结构的Pt-NiO混合敏感膜对溶解二氧化碳有很好的敏感性. 展开更多
关键词 溶解二氧化碳传感器 Pt-NiO混合敏感膜 MISFET结构
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