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一种新型的Pt-NiO混合敏感膜全固态溶解CO_2传感器及其特性测量 被引量：1
1
作者 岳钊 牛文成 +2 位作者 谢林宏 权伍明 罗 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期912-915,共4页
为了方便的测量溶解二氧化碳(CO2),利用室温下NiO对CO2的敏感特性,基于碳糊成膜方法,研制了一种新型全固态溶解CO2传感器.文章中,分析了传感器的结构和NiO敏感膜对CO2的敏感机理,测量了不同工作点和不同温度下传感器输出电压ΔVrs随着溶... 为了方便的测量溶解二氧化碳(CO2),利用室温下NiO对CO2的敏感特性,基于碳糊成膜方法,研制了一种新型全固态溶解CO2传感器.文章中,分析了传感器的结构和NiO敏感膜对CO2的敏感机理,测量了不同工作点和不同温度下传感器输出电压ΔVrs随着溶解CO2浓度变化的响应特性.实验结果显示,基于MISFET结构的Pt-NiO混合敏感膜溶解CO2传感器可以在室温下方便的检测溶解CO2浓度. 展开更多
关键词 溶解co2传感器 Pt-NiO混合敏感膜 MISFET结构
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